影響固體電介質擊穿電壓的主要因素：電場的不均勻程度，作用電壓的種類及施加的時間、溫度、固體電介質效能、結構、電壓作用次數、機械負荷、受潮等。固體電介質電擊穿的理論是以在介質中發生碰撞電離為基礎的。它不包括由邊 緣效應、介質劣化等因素引起的擊穿。固體電介質的中間存在少量處於導電能量狀態的電子（傳導電子）。它在電場加速下將與晶格點上的原子碰撞，但因固體介質中的原子相互聯絡十分緊密，所以必須考慮傳導電子與晶格碰撞。由碰撞電離引起擊穿有下述兩種解釋：固體擊穿理論是考慮單位時間傳導電子從電場中獲得的能量與單位時間內由於碰撞而失去的能量之間，因不平衡而引起擊穿；另一種擊穿理論則認為：傳導電子由電場作用得到了可使晶格原子電離的能量,產生了電子崩，當電子崩發展到足夠強時，引起固體電介質擊穿。電擊穿的特點：電壓作用時間短，擊穿電壓高，電介質溫度不高；擊穿場強與電場均勻程度有密切關係，而與周圍環境溫度的高低幾乎無關。 擴充套件資料將其中的水分子、空氣分子先行擊穿電離，形成臭氧、鹼性、二氧化氮，這些極具腐蝕性的不穩定離子很快與周圍固體介質分子發生化學反應。致使其效能發生變化，增大了局部的電導或介質損耗，從而降低了介質的絕緣效能。在足夠長時間的作用下，絕緣效能完全喪失，也就是發生了電化學擊穿。電化學擊穿的過程，首先電介質在電場作用下發生化學反應，引起電介質的老化。然後再發生具有熱擊穿特點的電化學擊穿。固體介質的電擊穿、熱擊穿和電化學擊穿是不能截然分開的，往往同時存在，如帶電作業工具1min工頻耐壓試驗的擊穿應有電和熱的聯合作用。