超聲波清洗機原理主要是透過換能器，將功率超聲頻源的聲能轉換成機械振動，透過清洗槽壁將超聲波輻射到槽子中的清洗液。由於受到超聲波的輻射，使槽內液體中的微氣泡能夠在聲波的作用下從而保持振動。破壞汙物與清洗件表面的吸附，引起汙物層的疲勞破壞而被駁離，氣體型氣泡的振動對固體表面進行擦洗。

　　等離子清洗機(plasma cleaner)也叫等離子表面處理儀（plasma surface treatment）,是一種全新的高科技技術，利用等離子體來達到常規清洗方法無法達到的效果。 等離子清洗機(plasma cleaner)　　

1.等離子體基礎知識： 　　等離子體和固體、液體或氣體一樣，是物質的一種狀態，也叫做物質的第四態。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態。等離子體的"活性"組分包括：離子、電子、活性基團、激發態的核素（亞穩態）、光子等。等離子體表面處理儀就是透過利用這些活性組分的性質來處理樣品表面，從而實現清潔、改性、光刻膠灰化等目的。 　　

2.等離子清洗原理：[1] 　　等離子體是物質的一種存在狀態，通常物質以固態、液態、氣態三種狀態存在，但在一些特殊的情況下有第四中狀態存在，如地球大氣中電離層中的物質。等離子體狀態中存在下列物質：處於高速運動狀態的電子；處於啟用狀態的中性原子、分子、原子團（自由基）；離子化的原子、分子；未反應的分子、原子等，但物質在總體上仍保持電中性狀態。 　　等離子清洗/刻蝕技術是等離子體特殊性 .....