表 1 潔淨室及潔淨區空氣中懸浮粒子潔淨度等級

大於或等於表中粒徑的最大濃度限值(pc/m3

—空氣

濃度限值按公式(1)計算)

ISO等級序數

(N)

0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 1μm 5μm

ISO Class 1 10 2

ISO Class 2 100 24 10 4

ISO Class 3 1000 237 102 35 8

ISO Class 4 10000 2370 1020 352 83

ISO Class 5 100000 23700 10200 3520 832 29

ISO Class 6 1000000 237000 102000 35200 8320 293

ISO Class 7 352000 83200 2930

ISO Class 8 3520000 832000 29300

ISO Class 9 35200000 8320000 293000

1000 Class即ISO Class 6