三座標測量儀的測量功能受儀器結構影響外，測量系統也是極為重要的因素之一。因此為獲得最佳的測量效果而言，需依據測量工件的種類不同，選擇適當的測頭。
測頭作為測量感測器，是座標測量系統中非常重要的部件。三座標測量機的工作效率、精度與測頭密切相關，沒有先進的測頭，就無法發揮測量機的卓越功能。座標測量機的發展促進了新型測頭的研製，新型測頭的開發又進一步擴大了測量機的應用範圍。按測量方法，可將測頭分為接觸式(觸發式)和非接觸式兩大類。觸發式測量頭又分為機械接觸式測頭和電氣接觸式測頭；非接觸式測頭則包括光學顯微鏡、電視掃描頭及鐳射掃描頭等。下面就接觸式測頭的半徑補償誤差為大家做個詳析。
1、測針的選擇
工業用紅寶石是高硬度的陶瓷材料，紅寶石測球具有很好的球度，測量時紅寶石測球的球頭磨損可忽略不計。測針針杆一般用非磁性的不鏽鋼針杆或碳鎢纖維針杆，以保證測針的剛性。測針的有效工作長度(EWL)使得測針接觸工件時可獲得精確的測點位置。球頭尺寸和測針有效工作長度的選取取決於被測工件。可能的情況下，選擇球頭直徑儘可能大、測杆儘可能短的測針，以保證最大的球頭/測杆距，獲得最佳的有效工作長度和測針剛性。需要時可加長測杆以增大探測深度，但值得注意的是，使用測針加長杆會降低剛性，從而降低測量精度。
2、測球半徑補償誤差
當測針接觸到工件時，三座標測量機接收的的座標值應是紅寶石球頭中心點座標，顯然，測量軟體將自動沿著測針從接觸點回退的方向加上一個測球半徑值作為測量值。但該測量值是一個與測頭的機械慣性有關的動態值。實際上，測量作為一個動態過程，其測量值應該考慮到從測頭採點到實際向系統傳送該點座標值時發生的機器空間移動距離。儘管這個距離極小，但對系統計算動態尺寸有一定影響。
在實際測量時，每測量一個元素，系統都可以自動區分測球半徑的補償方向，計算正確的補償半徑。在採點開始後，測量軟體將在沿著測針接觸工件的方向上對測球進行半徑補償。但被補償點並非真正的接觸點，而是測頭沿著測針接觸工件方向的延長線上的一個點。這樣就造成了補償誤差，產生誤差的大小與測球的半徑及該工件被測面與笛卡爾座標軸的夾角有關，夾角越大，誤差越大。
（1）測球半徑r對補償誤差的影響
補償誤差δ與測球半徑r成正比關係，即測球半徑r越小，補償誤差δ也越小。因此當用三座標測量機進行點位測量時，應選用盡可能小的測球。
（2）測針軸線與被測表面法線間的夾角α對補償誤差的影響
當測針軸線與被測表面法線間的夾角α等於0時，測球半徑補償誤差δ也為0。因此，測量時要儘可能使測針軸線與被測表面垂直，使測頭沿著被測表面的法線方向移動，以最大限度地減小測球半徑補償誤差。在用三座標測量機測量點元素時，測量軟體在自動補償測球半徑過程中會出現測球半徑補償誤差。透過運用參考座標系找正工件或用CNC模式進行測量，使測頭沿著被測表面的法線方向移動採集點的座標，可以儘量減小測球半徑補償誤差，正確進行測球半徑補償，提高測量精度。
三座標測量儀的測量功能受儀器結構影響外，測量系統也是極為重要的因素之一。因此為獲得最佳的測量效果而言，需依據測量工件的種類不同，選擇適當的測頭。
測頭作為測量感測器，是座標測量系統中非常重要的部件。三座標測量機的工作效率、精度與測頭密切相關，沒有先進的測頭，就無法發揮測量機的卓越功能。座標測量機的發展促進了新型測頭的研製，新型測頭的開發又進一步擴大了測量機的應用範圍。按測量方法，可將測頭分為接觸式(觸發式)和非接觸式兩大類。觸發式測量頭又分為機械接觸式測頭和電氣接觸式測頭；非接觸式測頭則包括光學顯微鏡、電視掃描頭及鐳射掃描頭等。下面就接觸式測頭的半徑補償誤差為大家做個詳析。
1、測針的選擇
工業用紅寶石是高硬度的陶瓷材料，紅寶石測球具有很好的球度，測量時紅寶石測球的球頭磨損可忽略不計。測針針杆一般用非磁性的不鏽鋼針杆或碳鎢纖維針杆，以保證測針的剛性。測針的有效工作長度(EWL)使得測針接觸工件時可獲得精確的測點位置。球頭尺寸和測針有效工作長度的選取取決於被測工件。可能的情況下，選擇球頭直徑儘可能大、測杆儘可能短的測針，以保證最大的球頭/測杆距，獲得最佳的有效工作長度和測針剛性。需要時可加長測杆以增大探測深度，但值得注意的是，使用測針加長杆會降低剛性，從而降低測量精度。
2、測球半徑補償誤差
當測針接觸到工件時，三座標測量機接收的的座標值應是紅寶石球頭中心點座標，顯然，測量軟體將自動沿著測針從接觸點回退的方向加上一個測球半徑值作為測量值。但該測量值是一個與測頭的機械慣性有關的動態值。實際上，測量作為一個動態過程，其測量值應該考慮到從測頭採點到實際向系統傳送該點座標值時發生的機器空間移動距離。儘管這個距離極小，但對系統計算動態尺寸有一定影響。
在實際測量時，每測量一個元素，系統都可以自動區分測球半徑的補償方向，計算正確的補償半徑。在採點開始後，測量軟體將在沿著測針接觸工件的方向上對測球進行半徑補償。但被補償點並非真正的接觸點，而是測頭沿著測針接觸工件方向的延長線上的一個點。這樣就造成了補償誤差，產生誤差的大小與測球的半徑及該工件被測面與笛卡爾座標軸的夾角有關，夾角越大，誤差越大。
（1）測球半徑r對補償誤差的影響
補償誤差δ與測球半徑r成正比關係，即測球半徑r越小，補償誤差δ也越小。因此當用三座標測量機進行點位測量時，應選用盡可能小的測球。
（2）測針軸線與被測表面法線間的夾角α對補償誤差的影響
當測針軸線與被測表面法線間的夾角α等於0時，測球半徑補償誤差δ也為0。因此，測量時要儘可能使測針軸線與被測表面垂直，使測頭沿著被測表面的法線方向移動，以最大限度地減小測球半徑補償誤差。在用三座標測量機測量點元素時，測量軟體在自動補償測球半徑過程中會出現測球半徑補償誤差。透過運用參考座標系找正工件或用CNC模式進行測量，使測頭沿著被測表面的法線方向移動採集點的座標，可以儘量減小測球半徑補償誤差，正確進行測球半徑補償，提高測量精度。