影響擴散的主要因素如下。

(1)溫度

溫度越高，原子的能量越大，越易發生遷移，擴散係數越大，擴散越快。

(2)固溶體型別

不同型別的固溶體，原子擴散機構不同，溶質原子的擴散啟用能不同，間隙固溶體中溶質原子的擴散啟用能一般都比置換固溶體中的小，所以擴散速度較大。

(3)晶體結構

總的來說，緻密度越小的晶體結構，原子的擴散啟用能越小，原子越易遷移，擴散係數越大，擴散速度越快。某些晶體結構原子的擴散還具有各向異性。

(4)晶體缺陷

由於金屬外表面、晶界、亞晶界處晶格不同程度地產生畸變，能量比晶粒內部高，擴散啟用能都較晶內小。並且由於以上所述各方面擴散啟用能依次增高，因而表面擴散最快，晶界次之，亞晶界更次之，晶內最慢。位錯線是晶格畸變的“管道”，原子沿這些“管道”擴散較晶內容易，因而在位錯、空位等缺陷處的原子較完整晶格處的原子擴散速度快。晶體中點缺陷的數量越多，擴散越容易。

必須指出，對於間隙型原子的擴散，空位與位錯的作用尚無定論。近年來某些研究認為，間隙原子跳進位錯或空位中，相當於落入陷阱而使其擴散啟用能增大，不利於進一步遷移。

(5)化學成分

在金屬或合金中加入第二或第三元素時，有的可以加速擴散，有的則會減慢擴散，情況比較複雜，目前尚缺乏完整普通的理論。經對部分合金系統的成分與擴散係數間關係的研究，總結出以下規律：

①當加入合金元素使合金的熔點或液相線溫度降低時，會使合金的擴散係數增加；反之則使擴散係數降低。

②形成碳化物的元素，如W、Mo、Cr能強烈阻止碳的擴散，降低碳的擴散係數；不形成碳化物而溶於固溶體中的元素，如Co、Ni等(Si例外)能提高碳的擴散係數。