1）燃燒法

燃燒法主要有根據燃燒的溫度及輔助介質不同又分為直接燃燒法和催化燃燒法兩種。

催化燃燒法較適合於高濃度、小風量廢氣的淨化，在處理低濃度的廢氣時，由於要維持300～400℃的催化燃燒溫度，需藉助於活性炭吸附等濃縮工藝來提高廢氣的燃燒熱值，但廢氣中的水氣、油汙及顆粒物易引起活性炭吸附容量下降及催化劑中毒失活等問題，使得該方法的推廣和使用在一定程度上受到了限制。

直接燃燒法是投加輔助燃料與廢氣一起送入焚燒爐燃燒，直接焚燒工藝成熟，控制一定的溫度條件下汙染物去除效率高，焚燒徹底，但在使用過程中一般會有一下問題：

①若焚燒含氯、溴代有機物和芳烴類物質時極易產生二噁英類強致癌物質，尤其在焚燒爐啟動和關閉過程中更易產生，為避免二噁英類物質產生，須提高燃燒溫度在1200℃以上，若保持如此高的燃燒溫度不僅運轉費用高，而且對焚燒爐的要求也大大提高。

②焚燒含氯代有機物時會產生氯化氫腐蝕問題，尤其是在高溫狀態下，氯化氫的腐蝕效能大大增強，不僅對管道存在腐蝕，更嚴重的是會引起焚燒爐的腐蝕。

另外，若廢氣中含有鹵素、氮元素和硫元素的情況下，採用燃燒法極易產生二次汙染物質二噁英、氮氧化合物和硫氧化合物。

2）吸收法

利用汙染物質的物理和化學性質，使用水或化學吸收液對廢氣進行吸收去除的方法。該方法在設計操作合理的情況下去除效率很高，運轉管理方便，但對裝置及執行管理要求極高，而且只有能溶解於吸收液或能與吸收液反應的汙染物才能被有效去除。

3）吸附法

該方法是當汙染物質透過裝有吸附劑（如活性炭、疏水分子篩等）的吸附塔時，利用該吸附劑對汙染物的強吸附力，從而達到淨化廢氣的目的。該方法裝置簡單，去除效果好，多用於淨化工藝的末級處理。該方法缺點是對高濃度廢氣處理效率低、佔地面積大、氣阻大、吸附劑需經常更換或再生等缺點，而且吸附劑脫附後的氣體難於收集而最終又排回大氣中，是一種不徹底的解決途徑。

4)吸附再生法

低溫加熱再生法。對於吸附沸點較低的低分子碳氫化合物和芳香族有機物的 飽和炭，一般用 100～200℃蒸汽吹脫使炭再生，再生可在吸附塔內進行。脫附後的有機物蒸汽經冷凝後可回收利用。常用於氣體吸附的活性炭再生。