MEMS鐳射雷達減少了機械旋轉式鐳射雷達的掃描活動部件，使用MEMS MIRROR這樣的元器件代替進行鐳射的角度掃描，從而以較為穩定的掃描方式進行鐳射光束的掃描，壽命、抗震能力和穩定性都比機械旋轉部件要高，因此稱為固態鐳射雷達，但是嚴格來說為類固態鐳射雷達。

在鐳射雷達的發展過程中，FLASH和OPA的方式才是真正固態鐳射雷達的定義，那就是沒有任何活動部件。

鐳射雷達分類：按照技術可分為機械旋轉式、混合固態以及固態鐳射雷達，由於量產難度低，未來短期則以混合固態鐳射雷達量產為主，但從長遠期來看，則更偏向於固態鐳射雷達

MEMS鐳射雷達應該被定義為混合固態雷達，微電機系統，將原本體積較大的機械部件整合在矽基晶片上，有可旋轉的微振鏡來反射光束，從而實現掃描。無外部機械旋轉部件，體積小、容易整合，成本降低，有利量產。

機械鐳射雷達：

由光電二極體、MEMS反射鏡、鐳射發射器、接收器組成，其中機械部件可360°旋轉，控制鐳射雷達發射角。 特點：

線束越高體積越大

價格昂貴

策略精度較高

通常佈置於車輛外部

2.固態鐳射雷達：

透過光學相控陣、光子積體電路以及遠場輻射方向圖等電子部件替代機械旋轉部件實現發射鐳射角度的調整。

特點：

尺寸小

價格低響應速度快，掃描角度大，可隱藏於車體內部

由於裝配除錯可以實現自動化，量產成本與量產時間可期待，因此，固態雷達被認為是未來的主要方向

車載鐳射雷達技術發展路線圖，引用蓋世汽車研究院

目前車載鐳射雷達處於起步階段，行業呈現多技術路線並存的狀態，而參與者則需要攻破發射器型別、探測、光束轉向等技術難點，同時考慮製造工藝、解析度、成本等影響因素。

Mems鐳射雷達，是光學相控陣鐳射雷達，其滿足了鐳射雷達小型化的大趨勢，尺寸很小。用到的核心的技術有光學相控陣列技術、光學積體電路技術、遠場輻射方向圖技術。沒有機械韌體，可以稱得上的純固態鐳射雷達了！