液態矽膠材料在注膠成型過程中，由於其粘度低、流動性好，常常會有溢膠或困氣的風險。減少不良的發生，液體矽膠成型模具的加工精度控制就尤為重要。

為了不發生溢膠造成毛刺現象，對液體矽膠成型模具分型面的精度要求比較高。而模具分型面的精度提高之後，空氣的排除則變得更困難，就時往往需要在動模側邊加裝排氣道，來加速氣體排出。另外，有些矽膠產品的結構特殊，透過排氣槽也不能很好的排氣，這時，就會在模腔中使用真空泵透過抽真空的方式進行減壓。下面我們就分別對矽膠模具這幾個重點部位的精度控制進行分析說明：

首先，液體矽膠成型模具分型面的加工，加工前需要認準矽膠材料效能。對於一般效能的液態矽膠材料，分型面精度控制在5μm以下，分型面粗糙度在3μm以下。而對於低粘度的液態矽膠材料來說，其流動性更好，分型面精度需控制在2μm以下，分型面粗糙度則需在0.5μm以下。

其次，排氣道的加工，主要是透過磨床或精密機床加工。對於一般的液態矽膠材料，排氣道深度控制在2-5μm；低粘度的液態矽膠材料，排氣道深度在1-2μm。

另外，液體矽膠成型模具抽真空設計這塊，主要是為了減少困氣不良，在模具的分型面設定密封，用真空泵使模腔內成為負壓狀態後射膠。真空泵的規格根據模具的實際需求選用，一般建議排氣量在15m³/h以上，真空度在0.5torr程度（1kpa相當於7.6torr，0.5torr約為66.6pa）。