稀有氣體包括氦、氖、氬、氪、氙、氡這六種元素，稀有氣體的最外層原子構型除了氦是1s2外，其餘全都是穩定的8電子構型。由於稀有氣體不活潑，過去很多人都認為它們與其它元素間不會形成化合物，稱為惰性氣體。這一觀點也阻礙了人們對稀有氣體的研究。直到1962年，英國化學家巴特列首次合成稀有氣體化合物Xe[PtF6]，才促進稀有氣體化合物發展。

稀有氣體的化學性質不活潑，它的電離能很大，它的電子親和能均為正值。所以，在通常情況下不易得到電子或失去電子而形成化合物。但是，在一定條件下，稀有氣體仍然能形成化合物。比如，氙可以與氟形成XeF2、XeF4和XeF6等。稀有氣體的第一電離能從氦到氡依次減小。化學性質逐漸活潑。目前，能形成的稀有氣體化合物多數為氙和少數的氪，氦、氖、氬的化合物至今還未製得。

第一個稀有氣體化合物XePtF6被合成出來後，人們已經能夠製取上百種稀有氣體化合物，相對而言氙是稀有氣體中最活潑的。目前的稀有氣體化合物主要是氙的化合物。例如氙的氟化物、氙的氧化物、氟氧化物等。在一定條件下，氙的氟化物可以由氙和氟直接反應得到。

根據價層電子對互斥理論，可以推測氙的主要化合物分子的空間構形。透過相關計算和測定，XeF6為變形八面體結構，中心原子採用sp3d3雜化。結構如下

XeF6是一種無色晶體，穩定，在水解時非常猛烈，具有強氧化性

XeF4分子根據相關計算，分子構型是平面四方形，中心原子採用sp3d2雜化，它的結構如下

XeF4是一種無色晶體，穩定。有強氧化性。

由上面例子可看出，氙的氟化物是好的氧化劑，也是一種氟化劑。這類稀有氣體鹵化物，可以作為優質的鐳射材料，在化學分析上也是一種優異的分析試劑，不易引入雜質。