定義：

1、電阻式感測器：指的是非電量的變化引起電阻值的變化，然後用調理電路將變化的電阻值轉換成電壓、電流或數字訊號等。

2、電容式感測器：指的是非電量的變化引起電容值的變化，然後用調理電路將變化的電容值轉換成電壓、電流或數字訊號等。

3、電感式感測器：指的是非電量的變化引起電感值的變化然後用調理電路將變化的電感值轉換成電壓、電流或數字訊號等。

對比：

電容式感測器與電阻式、電感式等感測器相比有如下一些優點：

1、高阻抗、小功率,因而所需的輸入力很小，輸人能量也很低。電容式感測器因帶電極板 間靜電引力極小(約幾個10-5 N)，因此所需輸入能量極小，所以特別適宜用來解決輸入能量低的 測量問題，例如測量極低的壓力、力和很小的加速度、位移等，可以做得很靈敏,分辨力非常髙，能 感受0.001μm甚至更小的位移。

2、溫度穩定性好。感測器的電容值一般與電極材料無關，有利於選擇溫度係數低的材料， 又因本身發熱極小，對穩定性影響甚微。

3、結構簡單，適應性強，待測體是導體或半導體均可,可在惡劣環境中工作。電容式感測 器結構簡單,易於製造,可做得非常小巧，以實現某些特殊的測量;能工作在高低溫、強輻射及強 磁場等惡劣的環境中，也能對帶有磁性的工件進行測量。

4、動態響應好。由於極板間的靜電引力很小，可動部分做得很小很薄，因此其固有頻率很 高，動態響應時間短，能在幾兆赫的頻率下工作，特別適合動態測量，如測量振動、瞬時壓力等。

5、可以實現非接觸測量，具有平均效應。例如非接觸測量回轉軸的振動或偏心、小型滾珠 軸承的徑向間隙等。當採用非接觸測量時,電容式感測器具有平均效應，可以減小工作表面粗糙 等對測量的影響。