）極間介質的電離、擊穿及放電通道的形成

當脈衝電壓施加於工具電極與工件兩者之間時，兩極之間即刻形成一個電場。電場強度與電壓成正比，與距離成反比，隨著極間電壓的升高或是極間距離的減小，極間電場強度也將隨著增大。由於工具電極和工件的微觀表面是凸凹不平的，極間距離又很小，因而極間電場強度是非常不均勻的，兩極間離得zui近的突出點或處的電場強度一般為zui大。當電場強度增大到一定數量時，介質被擊穿，放電間隙電阻從絕緣狀態迅速降低到幾分之一歐姆，間隙電流迅速上升到zui大值。由於通道直徑很小，所以通道中的電流密度很高。間隙電壓則由擊穿電壓迅速下降到火花維持電壓（一般約為20~30V），電流則由0上升到某一峰值電流。

（2）介質熱分解、電極材料熔化、汽化熱膨脹

極間介質一旦被電離、擊穿，形成放電通道後，脈衝電源使通道間的電子高速奔向正極，正離子奔向負極。電能變成動能，動能透過碰撞又轉變成熱能。於是在通道內正極和負極表面分別成為瞬間熱源，達到較高的溫度。通道高溫將工作液介質汽化，進而熱裂分解汽化。這些汽化後的工作液和金屬蒸汽，瞬間體積猛增，在放電間隙內成為氣泡，迅速熱膨脹並具有爆破的特性。觀察電火花加工過程，可以看到放電間隙間冒出氣泡，工作液逐漸變黑，並聽到輕微而清脆的爆破聲。電火花加工主要靠熱膨脹和區域性微爆破，使熔化、汽化了的電極材料丟擲蝕除。

（3）電極材料的丟擲

通道和正負極表面放電點瞬時高溫使工作液汽化和金屬材料熔化、汽化，熱膨脹產生較高的瞬間壓力。通道中心的壓力zui高，使汽化了的氣體不斷向外膨脹，壓力高處的熔融金屬液體和蒸汽，就被排擠、丟擲而進入工作液中。由於表面張力和內聚力的作用，使丟擲的材料具有zui小的表面積，冷凝時凝聚成細小的圓球顆粒。