臭氧的生成方式有很多種，主要有：電暈法（空氣法）、水解法、紫外線、核輻射法等幾種。食品、醫院及製藥等企業應用的臭氧發生技術主要有電暈放電法和低壓水解法。

1、電暈（空氣法）高壓放電法

電暈放電法產出臭氧的原理是兩個平行的高壓電極之間平行放置一個介電體（通常採用硬質玻璃或陶瓷作介電體也有用不鏽鋼），並保持一定的放電間隙，當在兩極間通入高壓交流電時，在放電間隙，形成均勻的藍紫色電暈放電，空氣或氧氣透過放電間隙，氧分子受到電子的激發獲得能量，並相互方式彈性碰撞，聚合成臭氧分子。電暈法在電暈空氣裡面的氧氣產生臭氧的同時，也電暈了空氣裡的氮氣和其他惰性氣體併產生大量毒性很強的高致癌物氮氧化物（NOx）

2、低壓水解法

低壓水解法產出臭氧的原理是採用低壓直流導通固態膜電極的正負兩極點解去離子水，水在特殊的陽極溶液介面上以質子交換的形式被分離為氫氧分子，氫從陰極溶液介面上直接被排放，氧分子在陽極介面上因高密度電流產生的電子激發而獲得能量，並聚合成臭氧。低壓水解法提取臭氧是科學界最領先的臭氧製取科技，製取臭氧的同時副產物為氧氣和氫，不含氮氧化物（NOx）和其他有害物質。

一、主要兩種方法的區別

低壓水解法臭氧發生器是以純水為原料，是以固態的貴金屬聚合物為電解質，結合陽離子交換模式，透過低壓電解的方式獲得臭氧，不需要任何輔助材料和新增劑，產出的臭氧濃度高達20%以上，產出的臭氧氣體伴隨物為氧，沒有任何二次汙染。

而傳統的高壓放電電暈法臭氧發生器，以空氣或氧氣為原料，需要經過多到預處理。並透過1500V左右的高頻高壓放電場才能獲得臭氧，產出的臭氧濃度最高不大於6%，產出的臭氧伴隨物為氮、氧、氮氧化合物和其他雜質，氮氧化合物中的二氧化氮為不分解的有毒致癌物質。

三、臭氧消毒與傳統消毒方式的比較

傳統的滅菌方法主要有三種：一是紫外線滅菌，二是試劑滅菌，三是加熱滅菌。

紫外線以光波輻射作用殺菌：主要問題在於：他穿透能力小，在紫外線照射不到的地方，沒有消毒效果；其殺菌能力隨著使用時間的增加而減小，而且燈管壽命短，更換過於頻繁，執行費用高。

化學試劑滅菌：藥味大，不能自然排出，需要空調長時間置換新風，從而增加了能耗。同時也存在二次汙染的問題，剩餘的藥物直接排入大氣，造成對周圍環境的汙染。如甲醛燻蒸，操作麻煩，燻蒸時間長，二次汙染物嚴重，對人體有一定的危害。

加熱滅菌包括乾熱和溼熱：其缺點是溫度高，能耗大，有的物品如原材料，儀器儀表，塑膠製品等就不宜加熱。

以上方法滅菌方法的弊端是客觀存在的，臭氧能在很多方面彌補上述方法的缺點，這為臭氧滅菌進入諸多行業開闢了通道。