1）單色 Al K alpha x-ray source, max. power 100W 這後面最大100瓦指得是物理含義。
100W指X-Ray功率，功率越大靈敏度越高，但是功率過大會影響陽極靶使用壽命。透過你給的資料，可以推測出事用PHI 5000 Versaprobe II型號XPS測試，此為此款的高能模式，通常用來檢測低含量元素。
2）Focused x-ray beam, min. 10um, Measured size:100um 既然X光斑可以最小是10微米，實測以100微米檢測好不好？
測試束斑大小通常和你關注的空間解析度有關，如果你想看幾十微米的區域，選擇用小束斑，但如果你關注大面積的元素及化學狀態的分佈，就沒有必要選擇小束斑的X-ray，因為束斑越小，光電子產額越少，訊號強度越低。此款的高能模式預設的X-ray直徑為100微米。用電子槍快速在陽極靶掃描產生X-ray射線，掃描的長度為1.4mm。
3）Detect angle (take off) : 45 這個角度怎麼定義的？
4） Pass energy: 58.7eV, 帶通能量是說明什麼，這個值是大還是小了？
透過能是指減速後透過能量分析器的電子能量。此項指標越高，靈敏度越好，能量解析度越差，反之則靈敏度降低，能量解析度提高。PHI 5000 Versaprobe II的通能範圍為2.95~187ev。是大是小要看你是否能夠區分你要測試的元素及其化學狀態的資訊。
5）Overall resolution: 0.59 eV Ag3d5/2 peak 這裡的解析度既然是以銀為為準，0.59eV是大還是小；是否還有其它的解析度作基準的？
Ag作為標準樣品來檢測儀器的能量解析度。此款的極限能量解析度為Ag3d5/2 peak 小於0.5ev。是否合適同樣還是要看你需要測試的元素及化學狀態是否能分開。
1）單色 Al K alpha x-ray source, max. power 100W 這後面最大100瓦指得是物理含義。
100W指X-Ray功率，功率越大靈敏度越高，但是功率過大會影響陽極靶使用壽命。透過你給的資料，可以推測出事用PHI 5000 Versaprobe II型號XPS測試，此為此款的高能模式，通常用來檢測低含量元素。
2）Focused x-ray beam, min. 10um, Measured size:100um 既然X光斑可以最小是10微米，實測以100微米檢測好不好？
測試束斑大小通常和你關注的空間解析度有關，如果你想看幾十微米的區域，選擇用小束斑，但如果你關注大面積的元素及化學狀態的分佈，就沒有必要選擇小束斑的X-ray，因為束斑越小，光電子產額越少，訊號強度越低。此款的高能模式預設的X-ray直徑為100微米。用電子槍快速在陽極靶掃描產生X-ray射線，掃描的長度為1.4mm。
3）Detect angle (take off) : 45 這個角度怎麼定義的？
4） Pass energy: 58.7eV, 帶通能量是說明什麼，這個值是大還是小了？
透過能是指減速後透過能量分析器的電子能量。此項指標越高，靈敏度越好，能量解析度越差，反之則靈敏度降低，能量解析度提高。PHI 5000 Versaprobe II的通能範圍為2.95~187ev。是大是小要看你是否能夠區分你要測試的元素及其化學狀態的資訊。
5）Overall resolution: 0.59 eV Ag3d5/2 peak 這裡的解析度既然是以銀為為準，0.59eV是大還是小；是否還有其它的解析度作基準的？
Ag作為標準樣品來檢測儀器的能量解析度。此款的極限能量解析度為Ag3d5/2 peak 小於0.5ev。是否合適同樣還是要看你需要測試的元素及化學狀態是否能分開。