反滲透系統是晶片超純水裝置不可或缺的一個重要環節，但是反滲透系統也存在著一個隱患，就是就是反滲透膜表面極易被溶質或其他截留物質形成濃差極化，從而影響超純水裝置出水水質，除了考慮晶片超純水裝置的工藝設計外，還得在裝置執行中採取改善對策。那麼晶片超純水裝置反滲透出現濃差極化怎麼辦呢?

　　1、增高流速法

　　首先可以採用化工上常用的增加騷動的措施。也就是設法加大流體流過膜面的線速度。減少流體停留的時間，增加晶片超純水裝置中流體的速度來減小溶質的吸附時間，流速增大溶質不易吸附。

　　2、填料法

　　如將29~100um的小球放入被處理的液體中，令其共同流經反滲透系統以減小膜邊界層的厚度而增大透過速度。小球的材質可用玻璃或甲基丙烯酸甲酯製作，此外對管式反滲透系統來說，也可向進料液中填加微型海綿球，不過，對板框式和螺旋卷式膜元件而言，加填料的方法是不適宜的，主要是因為有將流道堵塞的危險。

　　3、脈衝法

　　在晶片超純水裝置流程中增設一脈衝發生裝置，脈衝振幅和頻率不同，一般振幅越大或頻率越高，透過的流速也越大。在所有測試裝置中廣泛應用攪拌器，經驗表明傳質係數與攪拌器的轉數成直線關係。

　　4、裝設湍流促進器

　　湍流促進器是指可強化流態的多種障礙物，例如對管式元件而言，內部安裝螺旋擋板。對板式或卷式的膜元件可內襯網柵等物以促進湍流，這種湍流促進器效果非常好。

　　5、加分散阻垢劑

　　為了防止晶片超純水裝置中反滲透膜結垢，加入硫酸或鹽酸調節PH值，但是由於酸系統腐蝕和洩露讓操作者感到麻煩，因此一般加入分散阻垢劑維持水處理系統正常執行。

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