步驟一、將需要進行杜瓦罐夾層抽真空作業的杜瓦罐透過封存工裝連線到多瓶杜瓦罐夾層抽真空系統中的杜瓦罐夾層口介面上，同時將電加熱棒從杜瓦罐罐口插入罐中加熱，加熱溫度不低於100攝氏度。

步驟二、啟動主機械泵，同時旁通閥開啟，並且使三通系統主閥與旁通閥連通、與系統主泵斷開，真空機組透過旁通閥和三通系統主閥與真空系統管路連通，然後當增壓泵的吸氣端的真空度達到3000 時，啟動增壓泵。

步驟三、啟動維持泵，維持閥也同時開啟，當維持泵的吸氣端的真空度達到5Pa 時，啟動系統主泵，同時啟動給系統主泵降溫用的冷水機。

步驟四、當真空系統管路中的真空度達到5 時，旁通閥關閉，增壓泵關閉，然後透過熱氮介面向真空系統管路內充不低於100攝氏度的加熱氮氣，氮氣充完後，再開啟旁通閥，然後當增壓泵的吸氣端的真空度達到3000 時，再次啟動增壓泵。

步驟五、當真空系統管路中的真空度再次達到5 時，關閉旁通閥、維持閥和維持泵，同時開啟前級閥，並且使三通系統主閥與系統主泵連通，此時真空機組和系統主泵與真空系統管路連通，真空機組作為系統主泵的前級部分輔助系統主泵抽取真空系統管路。

步驟六、當真空系統管路遠離液氮冷阱的一端的真空度達到5E-4I^時，杜瓦罐夾層真空抽取結束，此時透過封存工裝將杜瓦罐夾層口與真空系統管路切斷並密封，然後使三通系統主閥與系統主泵斷開，透過熱氮介面向真空系統管路內充不低於100攝氏度的加熱氮氣，多瓶杜瓦罐夾層抽真空系統完成一次杜瓦罐夾層抽真空作業。

步驟七、更換新的需要進行杜瓦罐夾層抽真空作業的杜瓦罐，關閉前級閥，開啟旁通閥，真空機組透過旁通閥和三通系統主閥與真空系統管路連通，然後重複步驟三至步驟六，直至不再需要進行杜瓦罐夾層抽真空作業為止。