19世紀末，E.Goldstein在低壓放電實驗中觀察到正電荷粒子，隨後W.Wein發現正電荷粒子束在磁場中發生偏轉，這些觀察結果為質譜的誕生提供了準備。
1912年，英國物理學家約瑟夫·約翰·湯姆遜研製出一臺簡易質譜儀,為後來質譜的發展奠定了基礎。
1917年，電噴霧物理現象被發現（一個偉大的發現，可是並非為了在質譜神器上使用）。
1918年，Dempster 180°磁扇面方向聚焦質譜儀。
1919年，弗朗西斯·威廉·阿斯頓研製出第一臺精密精質譜儀，測定50多種同位素，製作第一張同位素表。
1935年，馬陶赫(Marttauch)和赫佐格(R.Herzog)根據他們的雙聚焦理論，研製出雙聚焦質譜儀。
1940年，尼爾(Nier)設計出單聚焦磁質譜儀，又於1960年設計並製成了一臺小型的雙聚焦質譜儀。
1942年，第一臺商品質譜儀。
1953年，由鮑爾(Paul)和斯坦威德爾(Steinwedel)提出四極濾質器；同年，由威雷(Wiley)和麥克勞倫斯(Mclarens)設計出飛行時間質譜儀原型。
1955年，Wiley &Mclarens 飛行時間質譜儀。
1960"s，開發GC/MS。
1974年，迴旋共振質譜儀。
1979年，傳送帶式LC/MS介面成為商業產品。
1982年，離子束LC/MS接口出現。
1984年，John Fenn發明一種軟電離離子源，即電噴霧電離源(ESI)，大力促進了質譜技術在大分子分析領域，特別是生物大分子領域的應用。
1988年，電噴霧質譜儀首次應用於蛋白質分析。
1989年，Hens G. Dohmelt和 W. Paul,因離子阱（Iontrap)的應用獲諾貝爾物理獎。
1990年，Katta and Chait 電噴霧電離質譜觀察蛋白質構象改變。
1993年，商品電噴霧質譜儀。
1995年，付立葉變換離子迴旋共振質譜儀（與ESI和MALDI聯用）。
1998年，高分辨飛行時間質譜儀（DelayExtract, Reflectron技術）。
2002年，J. B. Penn 和田中耕一因電噴霧電離（electronspray ionization, ESI）質譜和基質輔助鐳射解吸電離(matrix-assisted laser desorption ionization, MALDI)質譜獲諾貝爾化學獎。
2014年，Mr.ienore釋出了一種反衝質譜儀的構想。
19世紀末，E.Goldstein在低壓放電實驗中觀察到正電荷粒子，隨後W.Wein發現正電荷粒子束在磁場中發生偏轉，這些觀察結果為質譜的誕生提供了準備。
1912年，英國物理學家約瑟夫·約翰·湯姆遜研製出一臺簡易質譜儀,為後來質譜的發展奠定了基礎。
1917年，電噴霧物理現象被發現（一個偉大的發現，可是並非為了在質譜神器上使用）。
1918年，Dempster 180°磁扇面方向聚焦質譜儀。
1919年，弗朗西斯·威廉·阿斯頓研製出第一臺精密精質譜儀，測定50多種同位素，製作第一張同位素表。
1935年，馬陶赫(Marttauch)和赫佐格(R.Herzog)根據他們的雙聚焦理論，研製出雙聚焦質譜儀。
1940年，尼爾(Nier)設計出單聚焦磁質譜儀，又於1960年設計並製成了一臺小型的雙聚焦質譜儀。
1942年，第一臺商品質譜儀。
1953年，由鮑爾(Paul)和斯坦威德爾(Steinwedel)提出四極濾質器；同年，由威雷(Wiley)和麥克勞倫斯(Mclarens)設計出飛行時間質譜儀原型。
1955年，Wiley &Mclarens 飛行時間質譜儀。
1960"s，開發GC/MS。
1974年，迴旋共振質譜儀。
1979年，傳送帶式LC/MS介面成為商業產品。
1982年，離子束LC/MS接口出現。
1984年，John Fenn發明一種軟電離離子源，即電噴霧電離源(ESI)，大力促進了質譜技術在大分子分析領域，特別是生物大分子領域的應用。
1988年，電噴霧質譜儀首次應用於蛋白質分析。
1989年，Hens G. Dohmelt和 W. Paul,因離子阱（Iontrap)的應用獲諾貝爾物理獎。
1990年，Katta and Chait 電噴霧電離質譜觀察蛋白質構象改變。
1993年，商品電噴霧質譜儀。
1995年，付立葉變換離子迴旋共振質譜儀（與ESI和MALDI聯用）。
1998年，高分辨飛行時間質譜儀（DelayExtract, Reflectron技術）。
2002年，J. B. Penn 和田中耕一因電噴霧電離（electronspray ionization, ESI）質譜和基質輔助鐳射解吸電離(matrix-assisted laser desorption ionization, MALDI)質譜獲諾貝爾化學獎。
2014年，Mr.ienore釋出了一種反衝質譜儀的構想。