1、 焦長：主要和解析度相關，其他條件相同的情況下，焦長越長，解析度越高，但是相應的光通量也會降低。

2、 相對孔徑：即前面提到的F數，主要和焦長與準直鏡大小有關，焦長越長，就需要更大面積的準直鏡和光柵及後面的聚焦鏡，只有這樣才能保證更大的光通量，使訊號更強。

3、 光譜範圍：這個主要是由光柵決定的，主要看廠家光柵庫型號數量。

4、 光柵尺寸：這個特別需要注意，如果光譜儀焦長變長，光柵尺寸一定需要變大，要不然光通量會減少特別多。

5、 解析度：分開兩條臨近譜線能力的度量，是光譜儀最重要指標，主要和光柵刻線數、焦長、狹縫寬度、系統的光學像差以及內部結構有關，可近似認為符合以下公式：R∝n·F/W (n-光柵線數；F-焦距；W-狹縫寬度)；公認的解析度是用PMT探測器測量出來的，測量條件是在1200g/mm光柵，435nm處，狹縫寬度為10um。

6、 波長重複性：光譜儀返回原波長的能力，體現了波長驅動機械和整個儀器的穩定性。

7、 波長準確性：光譜儀設定波長與實際波長的差值。

8、 光譜線色散：解析度的另一種表徵，解析度越高，線色散越大。

9、 雜散光：光譜儀效能優劣最直觀的引數之一，但是目前確實還有很多科研工作者沒有在意這個引數，其實這個引數特別重要，先不說在拉曼試驗中非常重要，我再舉一個例子：在定量測量透射或者吸收變化時，如果變化小於0.01%，為了去除雜散光帶來的影響，就必須使用雜散光小於10-4的光譜儀，如果是大於10-4，那麼就無法從後面的探測器上體現出來。

10、 掃描速度：每秒掃描光譜寬度（單點探測器），一般都是160nm/s，目前最快的為300nm/s。