SEM，EDS，XRD的區別，SEM是掃描電鏡，EDS是掃描電鏡上配搭的一個用於微區分析成分的配件——能譜儀，是用來對材料微區成分元素種類與含量分析，配合掃描電子顯微鏡與透射電子顯微鏡的使用。XRD是X射線衍射儀，是用於物相分析的檢測裝置。

SEM用於觀察標本的表面結構，其工作原理是用一束極細的電子束掃描樣品，在樣品表面激發出次級電子，次級電子的多少與電子束入射角有關，也就是說與樣 品的表面結構有關，次級電子由探測體收集，並在那裡被閃爍器轉變為光訊號，再經光電倍增管和放大器轉變為電訊號來控制熒光屏上電子束的強度，顯示出與電子束同步的掃描影象。影象為立體形象，反映了標本的表面結構。

EDS的原理是各種元素具有自己的X射線特徵波長，特徵波長的大小則取決於能級躍遷過程中釋放出的特徵能量△E，能譜儀就是利用不同元素X射線光子特徵能量不同這一特點來進行成分分析的。

XRD是利用衍射原理，精確測定物質的晶體結構,織構及應力,精確的進行物相分析，定性分析，定量分析。

說簡單點，SEM是用來看微觀形貌的，觀察表面的形態、斷口、微裂紋等等；EDS則是檢測元素及其分佈，但是H元素不能檢測；XRD觀察的是組織結構，可以測各個相的比例、晶體結構等。