（1）旋片式真空泵油位太低，不能對排氣閥起油封作用，旋去加油螺塞後有較大排氣聲，並有油霧，證明油位太低，加油即可排除。

（2）油為可凝性蒸汽汙染而引起之真空度下降，應該更換新的真空泵油。

（3）泵口外接管道、容器、測試儀表管道、接頭等漏氣，大漏時，旋去加油螺塞有大的排氣聲，並有氣和油霧排出，應找漏，消除之。

（4）進氣管橡膠件裝配不當，損壞或老化應調整或更換。

（5）油孔堵塞，真空度下降，可放油，拆下油箱，鬆開油嘴壓板，拔出進油嘴，疏通油孔，儘量不要用紗頭擦零件。

（6）真空系統有嚴重汙染，包括容器、管道等，應予清洗。

（7）旋片彈簧折斷，應予調新。

（8）旋片、定子或襯套磨損，應予檢查，修整或調換旋片式真空泵。

（9）泵溫過高，這不但使油粘度下降，飽和蒸汽壓升高，還可能造成泵油裂解。應改善通風冷卻，降低環境溫度。如所抽氣體溫度太高，應予先冷卻後再進入泵內，環境溫度高，應儘量採用較好的高速度真空泵油或3#擴散泵油。（10）由於零件的變形磨損或移動使止回閥頭的最大開啟高度降低甚至不能開啟，進油過少而使旋片式真空泵的真空度降低，應調整，詳見裝配部分。開啟高，進油多，但開啟過高，止回閥在某些位置上停時將不能自動下落，失去防止返油作用。常用的旋片式真空泵主要有：雙級旋片式真空泵單級旋片式真空泵