人工費用、直接投入費用、折舊費用、無形資產的費用、其他相關費用等。

1、人工費用

企業在研發過程中，需要支付在職研發人員的工資、獎金、津貼、補貼、社會保險費、住房公積金等人工費用，如果還需要僱傭研發人員，就需要支付給外聘研發人員一定的勞務費用。

2、直接投入費用

直接投入費用包括研發活動直接消耗的材料、燃料和動力費用。用於中間試驗和產品試製的模具、工藝裝備開發及製造費，不構成固定資產的樣品、樣機及一般測試手段購置費，試製產品的檢驗費。用於研發活動的儀器、裝置的執行維護、調整、檢驗、維修等費用，以及透過經營租賃方式租入的用於研發活動的儀器、裝置租賃費等。

3、折舊費用

折舊費用是指用於研發活動的儀器、裝置的折舊費。研發儀器在使用的過程中，會有一定的損耗以及需要定期維護，這屬於研發費用的範疇。

4、無形資產的費用

無形資產的費用是指用於研發活動的軟體、專利權、非專利技術（包括許可證、專有技術、設計和計算方法等）的攤銷費用以及新產品設計費、新工藝規程制定費、新藥研製的臨床試驗費、勘探開發技術的現場試驗費。

5、其他相關費用

與研發活動直接相關的其他費用，如技術圖書資料費、資料翻譯費、專家諮詢費、高新科技研發保險費，研發成果的檢索、分析、評議、論證、鑑定、評審、評估、驗收費用，智慧財產權的申請費、註冊費、代理費，差旅費、會議費等。此項費用總額不得超過可加計扣除研發費用總額的10%。