電容式感測器是將被測量（如尺寸、壓力等）的變化轉換成電容量變化的一種感測器。
9.4.1 工作原理及型別
由物理學可知，在忽略邊緣效應的情況下，平板電容器的電容量為 （F） 式中
—真空的介電常數， =8.854×10-12F/m；
ε—極板間介質的相對介電係數，在空氣中，ε=1；
S—極板的遮蓋面積（m2）；
δ—兩平行極板間的距離（m)。
上式表明，當被測量δ、S或ε發生變化時，會引起電容的變化。如果保持其中的兩個引數不變，而僅改變另一個引數，就可把該引數的變化變換為單一電容量的變化，再透過配套的測量電路，將電容的變化轉換為電訊號輸出。根據電容器引數變化的特性，電容式感測器可分為極距變化型、面積變化型和介質變化型三種，其中極距變化型和麵積變化型應用較廣。
1. 極距變化型電容式感測器
極距變化型電容式感測器
靈敏度K與極距平方成反比，極距愈小，靈敏度愈高。一般透過減小初始極距來提高靈敏度。由於電容量C與極距δ呈非線性關係，故這將引起非線性誤差。為了減小這一誤差，通常規定測量範圍 。一般取極距變化範圍為。此時，感測器的靈敏度近似為常數。實際應用中，為了提高感測器的靈敏度、增大線性工作範圍和克服外界條件（如電源電壓、環境溫度等）的變化對測量精度的影響，常常採用差動型電容式感測器。
電容式感測器是將被測量（如尺寸、壓力等）的變化轉換成電容量變化的一種感測器。
9.4.1 工作原理及型別
由物理學可知，在忽略邊緣效應的情況下，平板電容器的電容量為 （F） 式中
—真空的介電常數， =8.854×10-12F/m；
ε—極板間介質的相對介電係數，在空氣中，ε=1；
S—極板的遮蓋面積（m2）；
δ—兩平行極板間的距離（m)。
上式表明，當被測量δ、S或ε發生變化時，會引起電容的變化。如果保持其中的兩個引數不變，而僅改變另一個引數，就可把該引數的變化變換為單一電容量的變化，再透過配套的測量電路，將電容的變化轉換為電訊號輸出。根據電容器引數變化的特性，電容式感測器可分為極距變化型、面積變化型和介質變化型三種，其中極距變化型和麵積變化型應用較廣。
1. 極距變化型電容式感測器
極距變化型電容式感測器
靈敏度K與極距平方成反比，極距愈小，靈敏度愈高。一般透過減小初始極距來提高靈敏度。由於電容量C與極距δ呈非線性關係，故這將引起非線性誤差。為了減小這一誤差，通常規定測量範圍 。一般取極距變化範圍為。此時，感測器的靈敏度近似為常數。實際應用中，為了提高感測器的靈敏度、增大線性工作範圍和克服外界條件（如電源電壓、環境溫度等）的變化對測量精度的影響，常常採用差動型電容式感測器。