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  • 1 # 使用者7272742818983

    簡單地說,雙極工藝製作的光電電晶體利用基區-集電區pn結作為一個光吸收的耗盡層,並且將其光生電流放大。在標準埋層集電極(SBC)雙極工藝中光電二極體的P區和NPN電晶體的P型基區是同一個P型區,而光電二極體的陰極和NPN電晶體的集電極都是由同一個N+注入區構成,基極接觸可以被省略。在基區-集電區pn結空間電荷區產生的電子-空穴對被加在結上的電場分開。在空間電荷區電場的作用下,空穴向基區漂移,而電子向集電區漂移。在基區積累的空穴使得基區處於高電勢,基極-發射極勢壘降低,發射區向基區擴散電子,並且在電場作用下,向集電極漂移。這個過程與電晶體的電流放大機理相似。因此,光電二極體所產生的光生電流/pd被NPN型電晶體放大了卩倍(β為電晶體的電流增益)。在電晶體的發射極和集電極可以分別獲得被放大了的光生電流(fj+1)幾和β/p°需要注意的是,對於較長波長,也就是當入射光的滲透深度較深時,只有空間電荷區的一部分光生載流子對幾起作用,並被放大。而其他部分的光生載流子對幾沒有作用,也不會被放大。

    雙極光電電晶體通常來說比光電二極體的工作速度要低很多。這首先是由於電流增益卩,以及基區渡越時間免的影響,這兩個因素限制了載流子的擴散。同時,光電電晶體的工作速度還受到發射區-基區pn結勢壘電容CsE,及基區-集電區pn結更大的勢壘電容q的限制,這兩個較大的電容是因為需要足夠大的光感應區面積所造成的。同時還需要注意發射極-基極總的電容龜是發射極-基極間擴散電容CDE和pn結勢壘電容CSE之和,即

    這個公式與普通電晶體的3 dB頻寬計算公式相同。基極-集電極電容與光感應區域的面積成正比,光電電晶體中的這個區域比普通雙極電晶體的基-集結面積大得多。因此,光電電晶體的工作頻率和PIN光電二極體與小面積普通電晶體的結合體相比,速度要慢很多。但是在低頻應用及PIN光電二極體不能被整合的場合,光電電晶體還是具備一定的優越性。

    在光時鐘分佈的應用中,一種帶有自調整發射極的NPN型電晶體被作為工作在波長2=840 nm下的光電電晶體來研究:刀。它應用的是帶有0.5 gm厚外延層的雙層多晶矽工藝,在此工藝中,自對準發射極技術被用來在1.0 p.m光刻條件下實現最小0.6 gm的發射極寬度。儘管外延層的厚度比該波長下的光透射深度1/a=16 gm小得多,但由於NPN型電晶體具有肛70的電流增益因子,從而仍可以獲得相對較高的響應度R=3.2 W/A。這個小尺寸光電電晶體,資料率可以達到1.25 Gb/s。

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