1、秦：建立御史大夫府為中央監察機構，在地方設定監郡御史。秦代中央監察機構的最高長官是御史大夫。秦代中央官制是三公九卿，三公即丞相、御史大夫和太尉。御史大夫是輔佐丞相的，可以代皇帝起草詔令，接受皇帝的差遣出使，處置一些軍國大事，當然也負責對百官進行監察和糾劾。

由於御史大夫要協助丞相處理朝政，所以監察的職能主要由御史丞和御史中丞去完成，其中御史中丞具體執行監察大權。御史中丞經常跟隨在皇帝身邊，負責監察朝中文武官員。

2、 漢：在中央設御史府的同時，增設丞相司直和司隸校尉為中央監察官，在地方設立十三部剌史，監察地方二千石長吏，並制定了第一個專門性的地方監察法規，給事中與諫議大夫等言官也已問世。

3、唐：在御史臺下設臺院、殿院、察院，分工明確，互相配合，地方則分十道(後增至十五道)監察區，形成比較嚴密的監察網。諫官組織分隸中書、門下兩省，形成臺諫並立局面。

4、宋：設立諫院，臺諫職權開始混雜，趨向合一，地方監察設監司和通判，直隸皇帝。

5、 元：取消諫院，臺諫合一。地方設行御史臺，統轄二十二道監察區，每道設肅政廉訪使(提刑按察司)，從而使中央與地方在監察機構上渾然一體。元朝還制定了一整套的監察法規。

擴充套件資料：

1、中國古代監察機構特徵：

（1）單線垂直。

中國古代監察制度的一個最明顯的特點就是，從中央（皇帝、君主）到地方的各級監察機構形成單線垂直（單線聯絡、單線領導）的相對獨立體系。這種以皇權為中心的監察體制確定了監察與行政（包括中央、地方、甚至是基層）的相對獨立與分離，中央、地方的監察機構與政府機構的相對分離，監察官員與政府官僚的分離。從而確保了監察權力的獨立運作，監察機構的上下一體，監察官員的高效行使權力。

（2）由皇帝任免。

皇帝擁有至高無上的權力，官員的任免全由皇帝決定。