定片真空泵的工作原理：定片式轉動泵的原理是：在一個圓筒形定子內有一個偏心裝置的圓柱作為轉子，用彈簧控制的單根滑板使定子內部空間分離為A, B兩部分。在箱子以定子的中心為心軸而沿著箭頭指示的方向旋轉時，空間A的體積不斷擴大、壓強降低而使外界氣體從進口c抽入;空間B的體積不斷縮小，而使B內的氣體壓力增大透過活閥而從出口D逸出。為了要使泵的極限真空(即在泵工作了足夠時間後能達的最低壓強，位時泵的抽氣速率實際上等於零更高，通常使用兩個這樣的定子一轉子組串聯，以一組的出口作為另一組的進口，用同一只電動機拖動，稱為雙級轉動泵。全部泵體則浸沒在油內，以達到密封和潤滑的目的。這種泵的特點是結構簡單、使用壽命較長，檢修也很容易。定片式真空泵抽速較小且有單級、雙級之分，雙級泵的極限真空可達10-1Pa。但是在體積較大時(即抽氣速率要求較大)，因為滑板難於保證密封而很少使用。旋片真空泵工作原理旋片式真空泵的結構和定片式真空泵的結構有著極為相似，不同在於虛擬空間的隔離以及產生做功的原理不同，例如某一特定空間隔成A, B兩部分，運用葉片與定子轉子製造一接觸點F。轉子在工作中，以其為中心，對進口和出口起到吸氣與排氣的兩種功效。當然旋片式真空泵可以透過轉子串聯的方式提高真空值，以達到工業應用領域的需求。例如常見的雅之雷德好凱德真空泵2RH系列是典型的雙級旋片真空泵，可以同雙轉子的原理，抽取低至0.5Pa的高真空值。