清潔時，請一定先拔下電源插頭，使光波爐徹底斷電。

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光波爐的門封需要經常保持潔淨，並定期檢查門栓的光潔情況，別讓汙垢存積其中，否則日後將難以徹底清洗乾淨。最好是在使用完畢後，用軟布及時清洗。

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在烹飪某些食物時，爐內可能因為高溫使食品或者汁液飛濺開，可在使用完畢後使用軟布、溫水及溫和的清潔劑清潔光波爐內部表面、爐門的前後及爐門開口處。但要注意即使汙漬很頑固，也不能使用金屬用具清洗，以免劃傷。

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需要擦洗光波爐的底部時，應取下轉盤、轉盤支架再進行清洗，並且需要注意時常清洗玻璃轉盤和軸環。光波爐剛使用完畢時，若玻璃轉盤和軸環是熱的，需冷卻後再行處理。轉盤和軸環清洗完畢後，切記要按原樣復位。如果是有專門設計用途的光波爐，轉盤需在正確位置時方可操作。另外取下轉盤進行清潔時，切忌對光波爐進行通電操作。

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如果您發現自家的光波爐在工作時，爐門四周出現水霧或是水滴，屬於正常現象，可用軟布及時擦乾。

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如果爐內汙垢沉積太多或者很頑固，可以用光波爐專用容器裝好水，以靜止不迴轉的方式，加熱幾分鐘，讓蒸發的水分溼潤一下爐內的汙漬。拿出水後，普通汙漬可用紙巾擦拭；油汙則可用清潔劑進行清洗。需要注意的是，無論爐內還是爐外，適當增加清洗次數和即時清洗是保持光波爐潔淨的關鍵；而爐內清潔如果使用了清潔劑，一定要用溫水多擦幾次，不要讓清潔劑殘留在爐內，避免以後加熱食物時，殘留的清潔劑會附著在食物上。

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如果清潔後的光波爐還有異味，可在一杯水中加入檸檬汁，放在爐內煮幾分鐘，或將橘皮放進光波爐中加熱15-30秒，即可去除光波爐中的異味。