1.按用途 壓力敏和力敏感測器、位置感測器、液位感測器、能耗感測器、速度感測器、加速度感測器、射線輻射感測器、熱敏感測器。 2.按原理 振動感測器、溼敏感測器、磁敏感測器、氣敏感測器、真空度感測器、生物感測器等。 3.按輸出訊號 模擬感測器:將被測量的非電學量轉換成模擬電訊號。 數字感測器:將被測量的非電學量轉換成數字輸出訊號(包括直接和間接轉換)。 膺數字感測器:將被測量的訊號量轉換成頻率訊號或短週期訊號的輸出(包括直接或間接轉換)。 開關感測器:當一個被測量的訊號達到某個特定的閾值時,感測器相應地輸出一個設定的低電平或高電平訊號。 4.按其製造工藝 整合感測器是用標準的生產矽基半導體積體電路的工藝技術製造的。通常還將用於初步處理被測訊號的部分電路也整合在同一晶片上。薄膜感測器則是透過沉積在介質襯底(基板)上的,相應敏感材料的薄膜形成的。使用混合工藝時,同樣可將部分電路製造在此基板上。厚膜感測器是利用相應材料的漿料,塗覆在陶瓷基片上製成的,基片通常是Al2O3製成的,然後進行熱處理,使厚膜成形。陶瓷感測器採用標準的陶瓷工藝或其某種變種工藝(溶膠、凝膠等)生產。完成適當的預備性操作之後,已成形的元件在高溫中進行燒結。厚膜和陶瓷感測器這二種工藝之間有許多共同特性,在某些方面,可以認為厚膜工藝是陶瓷工藝的一種變型。每種工藝技術都有自己的優點和不足。由於研究、開發和生產所需的資本投入較低,以及感測器引數的高穩定性等原因,採用陶瓷和厚膜感測器比較合理。 5.按測量目 物理型感測器是利用被測量物質的某些物理性質發生明顯變化的特性製成的。 化學型感測器是利用能把化學物質的成分、濃度等化學量轉化成電學量的敏感元件製成的。 生物型感測器是利用各種生物或生物物質的特性做成的,用以檢測與識別生物體內化學成分的感測器。 6.按其構成 基本型感測器:是一種最基本的單個變換裝置。 組合型感測器:是由不同單個變換裝置組合而構成的感測器。 應用型感測器:是基本型感測器或組合型感測器與其他機構組合而構成的感測器。 7.按作用形式 按作用形式可分為主動型和被動型感測器。 主動型感測器又有作用型和反作用型,此種感測器對被測物件能發出一定探測訊號,能檢測探測訊號在被測物件中所產生的變化,或者由探測訊號在被測物件中產生某種效應而形成訊號。檢測探測訊號變化方式的稱為作用型,檢測產生響應而形成訊號方式的稱為反作用型。雷達與無線電頻率範圍探測器是作用型例項,而光聲效應分析裝置與鐳射分析器是反作用型例項。 被動型感測器只是接收被測物件本身產生的訊號,如紅外輻射溫度計、紅外攝像裝置等。
1.按用途 壓力敏和力敏感測器、位置感測器、液位感測器、能耗感測器、速度感測器、加速度感測器、射線輻射感測器、熱敏感測器。 2.按原理 振動感測器、溼敏感測器、磁敏感測器、氣敏感測器、真空度感測器、生物感測器等。 3.按輸出訊號 模擬感測器:將被測量的非電學量轉換成模擬電訊號。 數字感測器:將被測量的非電學量轉換成數字輸出訊號(包括直接和間接轉換)。 膺數字感測器:將被測量的訊號量轉換成頻率訊號或短週期訊號的輸出(包括直接或間接轉換)。 開關感測器:當一個被測量的訊號達到某個特定的閾值時,感測器相應地輸出一個設定的低電平或高電平訊號。 4.按其製造工藝 整合感測器是用標準的生產矽基半導體積體電路的工藝技術製造的。通常還將用於初步處理被測訊號的部分電路也整合在同一晶片上。薄膜感測器則是透過沉積在介質襯底(基板)上的,相應敏感材料的薄膜形成的。使用混合工藝時,同樣可將部分電路製造在此基板上。厚膜感測器是利用相應材料的漿料,塗覆在陶瓷基片上製成的,基片通常是Al2O3製成的,然後進行熱處理,使厚膜成形。陶瓷感測器採用標準的陶瓷工藝或其某種變種工藝(溶膠、凝膠等)生產。完成適當的預備性操作之後,已成形的元件在高溫中進行燒結。厚膜和陶瓷感測器這二種工藝之間有許多共同特性,在某些方面,可以認為厚膜工藝是陶瓷工藝的一種變型。每種工藝技術都有自己的優點和不足。由於研究、開發和生產所需的資本投入較低,以及感測器引數的高穩定性等原因,採用陶瓷和厚膜感測器比較合理。 5.按測量目 物理型感測器是利用被測量物質的某些物理性質發生明顯變化的特性製成的。 化學型感測器是利用能把化學物質的成分、濃度等化學量轉化成電學量的敏感元件製成的。 生物型感測器是利用各種生物或生物物質的特性做成的,用以檢測與識別生物體內化學成分的感測器。 6.按其構成 基本型感測器:是一種最基本的單個變換裝置。 組合型感測器:是由不同單個變換裝置組合而構成的感測器。 應用型感測器:是基本型感測器或組合型感測器與其他機構組合而構成的感測器。 7.按作用形式 按作用形式可分為主動型和被動型感測器。 主動型感測器又有作用型和反作用型,此種感測器對被測物件能發出一定探測訊號,能檢測探測訊號在被測物件中所產生的變化,或者由探測訊號在被測物件中產生某種效應而形成訊號。檢測探測訊號變化方式的稱為作用型,檢測產生響應而形成訊號方式的稱為反作用型。雷達與無線電頻率範圍探測器是作用型例項,而光聲效應分析裝置與鐳射分析器是反作用型例項。 被動型感測器只是接收被測物件本身產生的訊號,如紅外輻射溫度計、紅外攝像裝置等。