壓阻式壓力感測器又稱為固態壓力感測器，它不同於貼上式應變計需透過彈性敏感元件間接感受外力，而是直接透過矽膜片感受被測壓力的。矽膜片的一面是與被測壓力連通的高壓腔，另一面是與大氣連通的低壓腔。

　　矽膜片一般設計成周邊固支的圓形，直徑與厚度比約為20～60。在圓形矽膜片N型定域擴散4條P雜質電阻條，並接成全橋，其中兩條位於壓應力區，另兩條處於拉應力區，相對於膜片中心對稱。矽柱形敏感元件也是在矽柱面某一晶面的一定方向上擴散製作電阻條，兩條受拉應力的電阻條與另兩條受壓應力的電阻條構成全橋。

　　 壓力感測器的種類繁多，如電阻應變片壓力感測器、半導體應變片壓力感測器、壓阻式壓力感測器、電感式壓力感測器、電容式壓力感測器、諧振式壓力感測器及電容式加速度感測器等。但應用最為廣泛的是壓阻式壓力感測器，它具有極低的價格和較高的精度以及較好的線性特性。這種感測器採用整合工藝將電阻條整合在單晶矽膜片上，製成矽壓阻晶片，並將此晶片的周邊固定封裝於外殼之內，引出電極引線。

　　壓阻式壓力感測器主要由固定在矽杯上的矽杯膜片和外殼組成。矽膜片的上下有低壓腔和高壓腔，高壓腔通入被測壓力，低壓腔與大氣相通，檢測表壓力。也可以分別通入高、低壓力，檢測差壓力。在被測壓力或差壓作用下，矽膜片產生應變，擴散電阻的阻值隨應變而變化。感測器的外形結構因被測介質性質和測壓環境而有所不同。由矽杯膜片構成的壓力感測器又稱為擴散矽壓力感測器。

　 已經出現的整合壓阻式壓力感測器（又稱固態壓力感測器），採用大規模積體電路技術，將擴散電阻、檢測放大電路、溫度補儻電路乃至電源變換電路和微處理器整合在同一塊中晶矽膜片上，兼有訊號檢測、處理（放大、運算、補償）、記憶功能，從而大大地提高了感測器的穩定性和測量準確度。