幹法一次除塵技術是乾式蒸發冷卻除塵器與溼式除塵（高效洗滌、環縫文氏管和/或溼式靜電除塵器）相結合的除塵技術。與溼法不回收幹灰、幹法全部回收幹灰不同，半乾法回收30-80%的幹灰。

半乾法工作原理同溼法相似，液態吸收劑噴入量應嚴格控制，以能被高溫煙氣蒸發生成粉狀產物為準。

半乾法煙氣脫酸工藝兼具幹法和溼法的優點，能耗少，裝置簡單，在國內應用較多。半乾法脫酸裝置主要包括急冷塔和半乾脫酸塔。

焚燒煙氣首先進入急冷塔，主要作用是使煙氣迅速降溫，減少二噁英類物質在300~500℃溫度區間再次生成。經過換熱裝置後煙溫降低到550℃左右，向急冷塔內噴入水作為直接冷卻介質，煙氣經過急冷塔時與霧化後的水接觸，使得傳熱速度較快，迅速將煙溫降低至200℃左右，控制這一過程的反應時間小於2 s。煙氣與水霧在一同混合下落過程中實現了汽化，塔底基本不產生汙水。

煙氣經過急冷塔後即進入半乾脫酸塔，目的是去除煙氣中酸性氣體。入口煙溫約200℃，出口煙溫約170℃，採用噴吸收劑的方式，脫除煙氣中大部分酸性氣體。現以石灰漿為例說明，這一反應共分兩步，首先：在半乾脫酸塔內，待處理煙氣與石灰漿霧滴充分混合，氯化氫等酸性氣體與漿液霧滴中的鹼性成分發生化學反應；第二階段：煙氣本身攜帶的熱量使漿液霧滴中的水分蒸發，使得漿液中石灰及反應生成物變成固態顆粒，在塔下部以及後續的煙氣處理裝置內，與氣態汙染物繼續發生反應，總的汙染物淨化效果有所提高。

也可同步進行煙氣急冷和半乾法脫酸。採用噴射含鹼水溶液急冷法（一種換熱效率較高的換熱方式），先用高效霧化噴嘴將氫氧化鈉溶液霧化成極小的霧滴，爾後與煙氣直接發生熱交換，將水滴快速變成水蒸氣，在短時間內（≤ 1s）即可將煙氣溫度降低至160 ～ 200℃，從而遏制“飛灰”在中溫段發生異相催化，防止二噁英再次生成，同時中和大部分酸性汙染物。

為提高脫酸效率，有的工藝路線在急冷和半乾法脫酸後，再加一步幹法脫酸，將消石灰粉噴入煙道內，與煙氣中的剩餘酸性物質繼續反應。由於急冷或半乾法脫酸後煙氣中仍含有部分水汽，用這種方法脫酸效果更佳。

焚燒煙氣中的氮氧化物也是常見的酸性汙染物，透過控制燃燒條件來抑制其產生屬於源頭治理，接下來再考慮末端處理。氮氧化物的去除技術包括選擇性非催化還原法、氨還原法以及煙氣再迴圈法

迴圈流化床煙氣脫硫工藝是八十年代末德國魯奇(LURGI)公司開發的一種新的半乾法脫硫工藝，這種工藝以迴圈流化床原理為基礎以幹態消石灰粉Ca（OH）2作為吸收劑，透過吸收劑的多次再迴圈，在脫硫塔內延長吸收劑與煙氣的接觸時間，以達到高效脫硫的目的，同時大大提高了吸收劑的利用率。透過化學反應，可有效除去煙氣中的SO2、SO3、HF與HCL等酸性氣體，脫硫終產物脫硫渣是一種自由流動的乾粉混合物，無二次汙染，同時還可以進一步綜合利用。該工藝主要應用於電站鍋爐煙氣脫硫，單塔處理煙氣量可適用於蒸發量75t/h～1025t/h之間的鍋爐，SO2脫除率可達到90%～98%，是目前幹法、半乾法等類脫硫技術中單塔處理能力最大、脫硫綜合效益最優越的一種方法。