特氣櫃，該裝置在使用時具有對操作人員的安全、氣體輸送的安全和對工藝裝置的安全。

本發明的目的可以透過以下技術方案來實現一種特氣櫃，它包括櫃體和閥組面盤，所述閥組面盤由至少一路供氣管路、吹掃管路和抽真空管路構成；其特徵在於，所述供氣管路由工藝鋼瓶出口的截止閥I透過管路依次連線氣動隔膜閥I、高壓截止隔膜閥I、預過濾器I、減壓閥I、低壓截止隔膜閥I、精密過濾器I接入供氣管路；所述吹掃管路由吹掃氣體鋼瓶出口的截止閥II透過管路依次連線高壓截止隔膜閥II、預過濾器II、減壓閥II、單向閥I、高壓截止閥I，透過單向閥II、吹掃隔離閥I接入所述供氣管路；所述抽真空管路由氮氣輸入口透過管路依次連線針孔閥I、止回閥I、真空發生器至排氣口，真空發生器的真空端由管路透過高、低壓排氣閥連線到上述供氣管路中。

在所述供氣管路的減壓閥I的進出口分別設有壓力檢測裝置，用於顯示工藝鋼瓶的壓力值和供氣壓力值。

在所述吹掃管路的減壓閥II的進出口分別設有壓力檢測裝置，用於顯示吹掃鋼瓶端壓力值和吹掃壓力值。

在所述抽真空管路的真空發生器的真空端入口處設有壓力檢測裝置，用於指示真空發生器工作時的負壓值。

所述櫃體為一個需要外部抽風來形成負壓裝置的一個防爆的帶門的方形櫃體，其主要由一定強度的鋼板、防爆玻璃及其它部件組成，使具有毒有害氣體的工藝鋼瓶、閥組面盤處在一個負壓、與工作大環境隔離的防爆小環境中，最大限度保證操作者和櫃體外環境的安全。