等離子體是物質的一種存在狀態，通常物質以固態、液態、氣態三種狀態存在，但在一些特殊的情況下有第四種狀態存在，如地球大氣中電離層中的物質。等離子體狀態中存在下列物質：處於高速運動狀態的電子；處於啟用狀態的中性原子、分子、原子團（自由基）；離子化的原子、分子；未反應的分子、原子等，但物質在總體上仍保持電中性狀態。

在真空腔體裡，透過射頻電源在一定的壓力情況下起輝產生高能量的無序的等離子體，透過等離子體轟擊被清洗產品表面．以達到清洗目的．

等離子清洗是等離子表面改性的其中較為常見的一種方式。

清洗的作用原理主要是：

1）對材料表面的刻蝕作用--物理作用

等離子體中的大量離子、激發態分子、自由基等多種活性粒子，作用到固體樣品表面，不但清除了表面原有的汙染物和雜質，而且會產生刻蝕作用，將樣品表面變粗糙，形成許多微細坑窪，增大了樣品的比表面。提高固體表面的潤溼效能。

2）啟用鍵能，交聯作用

等離子體中的粒子能量在0~20eV，而聚合物中大部分的鍵能在0~10eV，因此等離子體作用到固體表面後，可以將固體表面的原有的化學鍵產生斷裂，等離子體中的自由基與這些鍵形成網狀的交聯結構，大大地激活了表面活性。

3）形成新的官能團--化學作用

如果放電氣體中引入反應性氣體，那麼在活化的材料表面會發生複雜的化學反應，引入新的官能團，如烴基、氨基、羧基等，這些官能團都是活性基團，能明顯提高材料表面活性。