光波爐內部的溫度在100－150度左右，光波爐本身帶溫度控制器的，高達150度就會低於100再慢慢升高。光波爐外部紅外線圈內：當光波爐內部的溫度為100度時外面的溫度是300度左右，內部150度內外部最高溫度是450度。

一般為500～1000瓦。

光波爐的這一蒸汽功能是普通微波爐的升級功能。在使用過程中要新增適當的水，水會先被加熱10秒，之後產生大量水蒸汽，再用水蒸汽直接加熱食物。需要注意的是將食物包起來加熱，在加熱過程中便能對食物起到補充水份的作用。

在光波爐內可使用多種耐高溫容器，但如果選擇了微波烹調火力，最好不要使用金屬或帶金屬的容器。因為金屬對微波有反射作用，不僅使食物較難熟，被反射的微波還會損壞光波爐的部件，影響使用壽命。

1、除非用特殊用具，不可使用光波爐給液體直接加熱。

2、使用光波爐給食物加熱不可使用金屬器具。

3、使用光波爐給食物加熱不可使用劣質瓷器，否則器物容易爆裂，產生危險。

4、使用光波爐給剩菜、剩食加熱要用保鮮膜覆蓋後，再在保鮮膜上扎幾個眼，防止熱湯四濺。

5、使用光波爐加熱饅頭等食物，最好用水將饅頭沾水後，放入方便袋（使用無毒袋）或者碗中再加熱（蓋上蓋子），保持適當水分，否則熱出來的饅頭又幹又皮，口感很差。