精度是表示測量值離散的程度；靈敏度指示器的相對於被測量變化的位移率；分辨力是顯示裝置能有效辨別的最小的示值差。精度：是表示測量值離散的程度。在對一個量進行無窮多次測量時，測量結果會呈現下圖所示的正態分佈。測量儀表（包括感測器）的精度就是指測量結果99.73%的可能（這裡跳過關於統計學知識的討論）偏離真值的範圍。對於測量儀器來說，精度是一個定性的概念，一般不用數值表達。和精度相類似的儀器指標還有準確度：指在一定實驗條件下多次測定的平均值與真值相符合的程度，以誤差來表示。例如：儀器允許產生的誤差為量程的0.5%。即準確度0.5%或0.5級；儀器允許產生的誤差為正負某個數值。精度和準確度有相似性，但兩者的定義是不同的。精度是表示測量值離散的程度。準確度表示觀測值與真值的接近程度。平常所說的“精度”實際上很多時候是指準確度。靈敏度：指示指（輸出）的相對於被測量變化的位移率。在數值上指測量儀器響應的變化除以對應的激勵變化。由於靈敏度可能與激勵值有關。所以不同儀器對於靈敏度的數值或表達方式的會有所不同。對於感測器來說，常見的是以感測器的闕值（能使感測器輸出端產生可測變化量的被測量的最小變化量）來表示。分辨力：顯示裝置能有效辨別的最小的示值差。對於數字式顯示裝置，這就是當變化一個末位有效數字時其示值的變化。此概念亦適用於記錄儀裝置。感測器的準確度，靈敏度與解析度之間有較大的關係。靈敏度與解析度從不同角度反映感測器能夠測量的最小量值。靈敏度與解析度關係到感測器可能產生的最大誤差。