膜厚儀是用來測量經過表面處理過的表面鍍層膜厚厚度(例如用來測量經電鍍表面的金層的厚度)。其膜厚儀的工作原理是用30~50KV的高壓激發一個鎢靶材產生X射線，透過一個固定的準直器(其有不同直徑規格大小的準直器，如果待測物的面積很小，必須選擇直徑小準直器)作用穿透在被測物體的一定面積上激發光的X射線反射而產生不同光的波長(而不同材質(元素)作用反射光的波長是不一樣的);再經過能量接收器接收X射線反射的熒光光譜能量，根據接收到的X身線產生的熒光光譜能量自動計算其單位面積上的質量。再根據被測材質(元素)設定的密度(例如:純金為19.32g/cm3);合金的密度為17.5g/cm3)從而裝置自動計算得出其對應的膜厚厚度。

膜厚測試儀的裝置以德國菲希爾(Fishcher)品牌而知名，新的裝置價格要50~60萬人民幣左右一臺。中國產膜厚儀相對比較便宜，但量測膜厚精度及誤差度與可量測的元素範圍還是與德國及日本的裝置還是有差距，需要中國的膜厚儀的計量裝置研發設計公司學習吸收國外德國等品牌的先進技術，不斷創新突破研發屬於中國自主智慧財產權的高精度尖高階膜厚儀裝置裝備，未來由高階裝置進口轉變成高精尖裝置出口。