形位誤差包括形狀誤差、定向誤差和定位誤差，他們的評定原則和區別如下：

形狀誤差的評定

形狀公差是指實際單一要素的實際形狀相對於理想要素形狀的允許變動量，形狀誤差是被測實際要素的形狀對其理想要素的變動量。在數值上，形狀誤差不應大於形狀公差，因此直線度、平面度、圓度誤差的合格性，應按圖形狀誤差的最小包容區域來評定。

定向誤差的評定

定向公差是指實際關聯要素相對於基準的實際方向對理想方向的允許變動量。平行度、垂直度和傾斜度誤差的合格性，應按定向誤差的最小包容區域來評定。

定位誤差的評定

定位公差是指實際關聯要素相對於基準的實際位置對理想位置的允許變動量。定向誤差的合格性，應按定位誤差的最小包容區域來評定。

評定形狀、定向和定位誤差的最小包容區域大小是有區別的，這與形狀、定向和定位公差帶大小的特點相類似。不涉及基準的形狀最小包容區域的尺度應當最小，涉及基準的定位最小包容的尺度應當最大，涉及基準的定向最小包容區域的尺度應當在“最大”和“最小”之間。