微機電系統（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微電子機械系統、微系統、微機械等，指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置。

微機電系統其內部結構一般在微米甚至奈米量級，是一個獨立的智慧系統。

微機電系統是在微電子技術（半導體制造技術）基礎上發展起來的，融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、矽微加工、非矽微加工和精密機械加工等技術製作的高科技電子機械器件。

微機電系統是集微感測器、微執行器、微機械結構、微電源微能源、訊號處理和控制電路、高效能電子整合器件、介面、通訊等於一體的微型器件或系統。MEMS是一項革命性的新技術，廣泛應用於高新技術產業，是一項關係到國家的科技發展、經濟繁榮和國防安全的關鍵技術。

MEMS側重於超精密機械加工，涉及微電子、材料、力學、化學、機械學諸多學科領域。它的學科面涵蓋微尺度下的力、電、光、磁、聲、表面等物理、化學、機械學的各分支。

常見的產品包括MEMS加速度計、MEMS麥克風、微馬達、微泵、微振子、MEMS光學感測器、MEMS壓力感測器、MEMS陀螺儀、MEMS溼度感測器、MEMS氣體感測器等等以及它們的整合產品。