多晶矽生產的原料是三氯氫矽和氫氣，按照一定的比例計入還原爐內進行熱分解和還原反應產生多晶矽棒。
三氯氫矽是用氯化氫和工業矽粉在合成爐內反應生成，氯化氫是用氫氣和氯氣在氯化氫合成爐內燃燒生成，氯氣是氯化鈉工業鹽水透過通電反應生成，氫氣即可以用氯化鈉工業鹽水透過通電反應生成。也可以用水通電電解生產。工業矽粉是用石英礦與碳在通電的情況下還原反應生成工業矽塊，經粉碎變成工業矽粉。
現價段，中國的多晶矽廠家都是直接購進三氯氫矽，有合成三氯氫矽工序的很少。因為三氯氫矽的合成是氯氣和矽粉在高壓高溫下反應生成，類似於合成氨。所以一方面危險性高，另一方面矽粉分離比較成問題，還有一方面投資也大。本來一個年產300噸多晶矽規模的不要合成三氯氫矽工序就要投資一億多，所以一般企業都不上。
多晶矽的生產工藝主要由高純石英（經高溫焦碳還原）→工業矽（酸洗）→矽粉（加HCL）→SiHCL3（經過粗餾精餾）→高純SiHCL3（和H2反應CVD工藝）→高純多晶矽
多晶矽生產的原料是三氯氫矽和氫氣，按照一定的比例計入還原爐內進行熱分解和還原反應產生多晶矽棒。
三氯氫矽是用氯化氫和工業矽粉在合成爐內反應生成，氯化氫是用氫氣和氯氣在氯化氫合成爐內燃燒生成，氯氣是氯化鈉工業鹽水透過通電反應生成，氫氣即可以用氯化鈉工業鹽水透過通電反應生成。也可以用水通電電解生產。工業矽粉是用石英礦與碳在通電的情況下還原反應生成工業矽塊，經粉碎變成工業矽粉。
現價段，中國的多晶矽廠家都是直接購進三氯氫矽，有合成三氯氫矽工序的很少。因為三氯氫矽的合成是氯氣和矽粉在高壓高溫下反應生成，類似於合成氨。所以一方面危險性高，另一方面矽粉分離比較成問題，還有一方面投資也大。本來一個年產300噸多晶矽規模的不要合成三氯氫矽工序就要投資一億多，所以一般企業都不上。
多晶矽的生產工藝主要由高純石英（經高溫焦碳還原）→工業矽（酸洗）→矽粉（加HCL）→SiHCL3（經過粗餾精餾）→高純SiHCL3（和H2反應CVD工藝）→高純多晶矽