光敏玻璃是將光敏化學試劑引入玻璃體中，使之曝光加熱，最終玻璃表面及整體形成許多微孔的一種新型玻璃。

這種玻璃的結構具有高度的多孔性：微孔佔總體積的30%，每個微孔的直徑只有20奈米，大約能容納4000個原子。光敏試劑一般是羰基金屬類化合物，經曝光後，可脫除一個或多個CO分子，留下它的半裸金屬原子。金屬原子不"喜歡"單獨存在，而到處尋找一些物質，以取代它失去的羰基。金屬原子所能獲得的就是它周圍的玻璃，故而金屬原子與玻璃結合在一起。

當玻璃加熱到200℃時，受光照射的化學試劑留存下來，而未曝光的試劑則被除去。因為微孔的孔徑只有可見光波長的幾分之幾，所以微孔不致使光散射，可以得到微米級甚至亞微米級的影象解析度。當玻璃加熱到約1200℃時，微孔消失，形成緻密玻璃，在玻璃中就存留下永久圖象。藉助於有圖象的玻璃，可用來對其它物質產生圖象，換言之，它可用作光刻的掩模。

回到問題，當用飛秒鐳射照射光敏玻璃時，玻璃表面會形成緻密的表面層。與未照射鐳射的玻璃多孔狀態比，會更加耐受HF的刻蝕。刻蝕速率也就不同了。

因為刻蝕速率不同，相同HF刻蝕條件下，會在玻璃表面刻蝕形成凸凹不平的線條、圖案。