THz波（太赫茲波）或稱為THz射線（太赫茲射線）是從上個世紀80年代中後期，才被正式命名的，在此以前科學家們將統稱為遠紅外射線。

　　太赫茲波是指頻率在0.1THz到10THz範圍的電磁波，波長大概在0.03到3mm範圍，介於微波與紅外之間。

　　實際上，早在一百年前，就有科學工作者涉及過這一波段。

　　在1896年和1897年，Rubens和Nichols就涉及到這一波段，紅外光譜到達9um（0.009mm）和20um（0.02mm），之後又有到達50um的記載。

　　之後的近百年時間，遠紅外技術取得了許多成果，並且已經產業化。

　　但是涉及太赫茲波段的研究結果和資料非常少，主要是受到有效太赫茲產生源和靈敏探測器的限制，因此這一波段也被稱為THz間隙。

　　隨著80年代一系列新技術、新材料的發展，特別是超快技術的發展，使得獲得寬頻穩定的脈衝THz源成為一種準常規技術，THz技術得以迅速發展，並在實際範圍內掀起一股THz研究熱潮。