真空發生器在滿足使用要求的前提下應減小其耗氣量(L/min)，耗氣量與壓縮空氣的供給壓力有關，壓力越大，則真空發生器的耗氣量越大。有時由於工件的形狀或材料的影響，很難獲得較低的吸入口處壓力，由於從吸盤邊緣或透過工件吸入空氣，而造成吸入口處壓力升高。

在這種情況下，就需要正確選擇真空發生器的尺寸，使其能夠補償洩漏造成的吸入口處壓力升高。由於很難知道洩漏時的有效截面積，可以透過一個簡單的試驗來確定洩漏造成的吸入口處壓力升高。由於很難知道洩漏時的有效截面積，可以透過一個簡單的試驗來確定洩漏量。

試驗迴路由工件，真空發生器，吸盤和真空表組成，由真空表的顯示讀數，再查真空發生器的效能曲線，可很容易知道洩漏量的大小。

多級真空發生器採用三級噴嘴結構設計，使得只利用較少的壓縮空氣就能夠產生約3倍左右的真空抽氣量，DRM多級真空發生器的真空抽氣量從14L/MIN到11928L/MIN，真空度達到-92KPa，

基本能夠滿足各種真空場合的需求，並且不斷的研究開發使其消耗的壓縮空氣更小，產生更多的真空抽量，和達到更高的真空度。日本SMC真空發生器的結構：它由噴嘴、接收室、混合室和擴散室組成。