有較高的電離和分解程度 2.電子溫度和離子溫度對中性氣體溫度之比非常高，運載氣體保持合適的溫度。這個特性，在氣相沉積的情況下，可使基底的溫度不會過高。3.能在高氣壓下維持等離子體。4.沒有內部電極，在等離子容器內，沒有工作氣體以外的任何物質，是潔淨的，無汙染源。等離子發生器可以保持長壽命。5.等離子可以採用磁約束的方法，約束在約定的空間內，微波結和磁路可以相容。6.安全因素高。高壓源和等離子體發生器互相隔離，這是直流等離子體不能達到的。微波洩漏小，容易達到輻射安全標準。這是高頻感應等離子體難以達到的。7.微波發生器是穩定的，易控的。8.微波等離子體，在許多情況下是一種比較寧靜的等離子體，不象直流放電那樣伴隨很高的噪聲級。

離子體產生的方法之一，微波等離子體無電極、大體積、執行氣壓寬、低能耗、高效率和低成本等優點，

微波誘導微放電源是基於“微波帶”技術在大氣壓環度境下產生的一種微等離子體,它被廣泛應用於氣相色譜中原子發射光譜激發源.微波帶技術的使用不僅可以將微波精確指向間隙區,同時也減少了不必回要的外空間輻射損失,有利於耦合效率的提高,從而獲得高密度等答離子體.