金屬的光譜分析法是指透過分析樣品的光譜特性來定量其中不同元素的含量。以較為先進的直讀光譜儀為例，具體分析過程包括：

1.透過電容火花放電的方式使被測金屬表面蒸發形成原子蒸汽，由於受到高能激發，這些原子的核外電子會從基態躍遷到激發態，由於激發態的電子處於不穩態，會躍遷回基態，並放出光子，形成光源。

2.不同的元素其發出的光子特徵波長不一樣。將光源的光透過分光系統分光後，由光電檢測器檢測各個元素特徵波長上的光強，光強的大小就表示該元素含量的高低。與化學分析法相比，光譜分析的突出優點在於全元素同時分析，分析速度快，通常在30秒內可以報出所有元素的含量，並且由於全自動分析，分析準確度高。而化學分析則不同的元素需要採取不同的分析方法，速度極其慢，而且測定結果受外圍環境以及操作員操作水平限制，重複性和準確度較差。國內目前能製備大型的直讀光譜分析儀，價格一般20w左右，江蘇沒有生產商。大型儀器的缺點在於執行維護成本高，佔地面積大，對外界環境的要求高，不適用於中小企業的使用。小型光譜儀目前國內正處於研製階段，尚未有商業成型的儀器。國外的小型光譜儀售價一般在40w左右。