至少一個小時後人才能進去。臭氧本身是有毒的。但是一般臭氧消毒裝置都有設定安全環境或者安全值。比如室內空氣消毒。就需要設定30分鐘至一個小時的密閉消毒時間。人是需要離開的。設定時間過後三四個小時內最好開啟門窗。讓空氣中的臭氧散盡。

一般情況下，臭氧消毒完成之後半個小時到一個小時之內就會還原成氧氣，所以在半個小到一個小時之後進入是沒有問題的。臭氧的半衰期是 25分鐘左右開始,所以至少要30分鐘人才能進去。

臭氧消毒技術是1840年一位德國的化學家C.F.舍拜恩發明的消毒技術，於1856 年被用於水處理消毒行業。臭氧消毒技術已廣泛用於水處理、空氣淨化、食品加工、醫療、醫藥、水產養殖等領域 。國內的臭氧技術逐漸的成熟，臭氧也慢慢被人們所熟知，由於它的消毒能力強從而代替了常規消毒被應用到各個領域。

臭氧滅菌的速度和效果是無與倫比的，它的高氧化還原電位決定它對氧化、脫色、除味方面的廣泛應用，有人研究指出，臭氧溶解於水中，幾乎能夠殺水中一切對人體有害的物質，比如鐵、錳、鉻、硫酸鹽、酚、苯、氧化物等，還可分解有機物及滅藻等。