AAS原理：透過原子化器將待測試樣原子化，待測原子吸收待測元素空心陰極燈的光，從而使用檢測器檢測到的能量變低，從而得到吸光度。吸光度與待測元素的濃度成正比。 AAS主要分火焰法和石墨爐法。 火焰法現在大家常用的是C2H2+O2，也有極少數還在使用乙炔+笑氣的（非常危險，易爆）。火焰燃燒使試樣中的待測元素原子化。 石墨法爐主要是採用石墨管加熱使用待測試樣原子化。由於石墨爐的溫度高，因此能測試的元素種類也比火焰法多。 火焰+石墨總共能測試60多個元素。 ICP原理：利用氬等離子體產生的高溫使用試樣完全分解形成激發態的原子和離子，由於激發態的原子和離子不穩定，外層電子會從激發態向低的能級躍遷，因此發射出特徵的譜線。透過光柵等分光後，利用檢測器檢測特定波長的強度，光的強度與待測元素濃度成正比。 ICP最為常見的就是氬等離子體ICP，現在主要有單道順序掃描的，及全譜直讀型兩大類。全譜直讀的主要有中階梯光柵型的，以及帕邢-龍格型兩種。採用的檢測器主要有二維CCD檢測，主要有PE、VARIAN；一維線性CCD，只有SPECTRO採用；二維CID檢測器，主要有THERMO、LEEMAN。 ICP大致能測70多種元素。