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  • 1 # 藍風24

    大尺寸晶體生長的製備,特別適用於高科技應用,如DRAMs、積體電路的半導體,單晶或多晶晶元的太陽能電池,LED照明的寶石基底等等。一般來說,直拉法(又稱Cz法,Czochralski法)生產用於IC和太陽能電池的單晶矽;懸浮區熔法(Fz法:Floating Zone)生產高純度的單晶矽;定向凝固法(DS法、VB法等)多用於生產用於太陽能電池上的多晶矽。以上幾種工藝透過建立數值模型,利用有效的模擬工具來完成拉晶過程中對單晶爐、晶體的熱場、力學效能、幾何結構的預測,最終實現對生成晶體質量的評估。

    晶體生長領域學者比利時魯汶大學的Fran鏾is Dupret教授,90年代於《J. of Heat and Mass Transfer》上發表了一篇文章:Global modelling of heat transfer in crystal growth furnaces ,詳細闡述瞭如何建立一個晶體生長爐中全域性的熱傳控制模型,並驗證了這一全域性模型的準確性。

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