中文名：四氟甲烷；四氟化碳

英文名：tetrafluoromethane; carbon

tetrafluoride

分子式：CF4

相對分子質量：88.01CAS號：75-73-0

危險性類別：第2.2類

不燃氣體化學類別：滷代烷

四氟化碳是目前微電子工業中用量最大的等離子蝕刻氣體，可廣泛應用於矽、二氧化矽、氮化矽，磷矽玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻，在電子器件表面清洗，太陽能電池的生產，鐳射技術、氣相絕緣、低溫製冷、洩漏檢驗劑、控制宇宙火箭姿態，印刷電路生產中的去汙劑等方面也大量使用。

侵入途徑： 接觸眼睛,接觸面板,吸入,誤食

健康危害： 當中害者因為缺氧不省人事，必須轉移到沒受汙染的地方使之能呼吸新鮮空氣或者輸入氧氣

環境危害： 該物質在常溫常壓下是氣體。吸入高濃度的溶液後，會發生頭昏、噁心、嘔吐、方向感喪失、失調、昏迷。吸入者會窒息。低溫氣體會導致凍傷。