（1）同軸望遠鏡

全站儀的望遠鏡實現了視準軸、測距光波的發射、接收光軸同軸化。使得望遠鏡一次瞄準即可實現同時測定水平角、垂直角和斜距等全部基本測量要素的測定功能。

稜鏡杆

（2）雙軸自動補償

作業時若全站儀縱軸傾斜，會引起角度觀測的誤差，盤左、盤右觀測值取中不能使之抵消。而全站儀特有的雙軸（或單軸）傾斜自動補償系統，可對縱軸的傾斜進行監測，並在度盤讀數中對因縱軸傾斜造成的測角誤差自動加以改正（某些全站儀縱軸最大傾斜可允許至 ±6′）。也可透過將由豎軸傾斜引起的角度誤差，由微處理器自動按豎軸傾斜改正計算式計算，並加入度盤讀數中加以改正，使度盤顯示讀數為正確值，即所謂縱軸傾斜自動補償。

（3）鍵盤

鍵盤是全站儀在測量時輸入操作指令或資料的硬體，全站型儀器的鍵盤和顯示屏均為雙面式，便於正、倒鏡作業時操作。

（4）儲存器

全站儀儲存器的作用是將實時採集的測量資料儲存起來，再根據需要傳送到其它裝置如計算機等中，供進一步的處理或利用，全站儀的儲存器有記憶體儲器和儲存卡兩種。

（5）通訊介面

全站儀可以透過 BS–232C 通訊介面和通訊電纜將記憶體中儲存的資料輸入計算機，或將計算機中的資料和資訊經通訊電纜傳輸給全站儀，實現雙向資訊傳輸。