德國學者賓尼格和瑞士學者羅雷爾於1982年製造成功的“掃描隧道顯微鏡”，放大倍數可達3億倍。
普通光學顯微鏡透過提高和改善透鏡的效能，使放大率達到1000—1500倍左右，但一直末超過2000倍。這是由於普通光學顯微鏡的放大能力受光的波長的限制。光學顯微鏡是利用光線來看物體，為了看到物體，物體的尺寸就必須大於光的波長，否則光就會“繞”過去。理論研究結果表明，普通光學顯微鏡的分辨本領不超過0。02微米，有人採用波長比可見光更短的紫外線，放大能力也不過再提高一倍左右。
要想看到組成物質的最小單位——原子，光學顯微鏡的分辨本領還差3—4個量級。為了從更高的層次上研究物質的結構，必須另闢蹊徑，創造出功能更強的顯微鏡。
有人設想用波長比紫外線更短的X射線的透鏡。
20世紀20年代法國科學家德布羅意發現電子流也具有波動性，其波長與能量有確定關係，能量越大波長越短，比如電子學1000伏特的電場加速後其波長是0.388埃，用10萬伏電場加速後波長只有0.0387埃，於是科學家們就想到是否可以用電子束來代替光波？這是電子顯微鏡即將誕生的一個先兆。
用電子束來製造顯微鏡，關鍵是找到能使電子束聚焦的透鏡，光學透鏡是無法會聚電子束的。
1926年，德國科學家蒲許提出了關於電子在磁場中運動的理論。他指出：“具有軸對稱性的磁場對電子束來說起著透鏡的作用。”這樣，蒲許就從理論上解決了電子顯微鏡的透鏡問題，因為電子束來說，磁場顯示出透鏡的作用，所以稱為“磁透鏡”。
德國柏林工科大學的年輕研究員盧斯卡，1932年製作了第一臺電子顯微鏡——它是一臺經過改進的陰極射線示波器，成功地得到了銅網的放大像——第一次由電子束形成的影象，加速電壓為7萬，最初放大率僅為12倍。儘管放大率微不足道，但它卻證實了使用電子束和電子透鏡可形成與光學像相同的電子像。
經過不斷地改進，1933年盧斯卡製成了二級放大的電子顯微鏡，獲得了金屬箔和纖維的1萬倍的放大像。
電子顯微鏡的出現使人類的洞察能力提高了好幾百倍，不僅看到了病毒，而且看見了一些大分子，即使經過特殊製備的某些型別材料樣品裡的原子，也能夠被看到。
但是，受電子顯微鏡本身的設計原理和現代加工技術手段的限制，目前它的分辨本領已經接近極限。要進一步研究比原子尺度更小的微觀世界必須要有概念和原理上的根本突破。
1978年，一種新的物理探測系統——“掃描隧道顯微鏡已被德國學者賓尼格和瑞士學者羅雷爾系統地論證了，並於1982年製造成功。這種新型的顯微鏡，放大倍數可達3億倍，最小可分辨的兩點距離為原子直徑的1/10，也就是說它的解析度高達0.1埃。
掃描隧道顯微鏡採用了全新的工作原理，它利用一種電子隧道現象，將樣品本身作為一具電極，另一個電極是一根非常尖銳的探針，把探針移近樣品，並在兩者之間加上電壓，當探針和樣品表面相距只有數十埃時，由於隧道效應在探針與樣品表面之間就會產生隧穿電流，並保持不變，若表面有微小起伏，那怕只有原子大小的起伏，也將使穿電流發生成千上萬倍的變化，這種攜帶原子結構的資訊，輸入電子計算機，經過處理即可在熒光屏上顯示出一幅物體的三維圖象。
鑑於盧斯卡發明電子顯微鏡的，賓尼格、羅雷爾設計製造掃描隧道顯微鏡的業績，瑞典皇家科學院決定，將1986年諾貝爾物理獎授予他們三人。
德國學者賓尼格和瑞士學者羅雷爾於1982年製造成功的“掃描隧道顯微鏡”，放大倍數可達3億倍。
普通光學顯微鏡透過提高和改善透鏡的效能，使放大率達到1000—1500倍左右，但一直末超過2000倍。這是由於普通光學顯微鏡的放大能力受光的波長的限制。光學顯微鏡是利用光線來看物體，為了看到物體，物體的尺寸就必須大於光的波長，否則光就會“繞”過去。理論研究結果表明，普通光學顯微鏡的分辨本領不超過0。02微米，有人採用波長比可見光更短的紫外線，放大能力也不過再提高一倍左右。
要想看到組成物質的最小單位——原子，光學顯微鏡的分辨本領還差3—4個量級。為了從更高的層次上研究物質的結構，必須另闢蹊徑，創造出功能更強的顯微鏡。
有人設想用波長比紫外線更短的X射線的透鏡。
20世紀20年代法國科學家德布羅意發現電子流也具有波動性，其波長與能量有確定關係，能量越大波長越短，比如電子學1000伏特的電場加速後其波長是0.388埃，用10萬伏電場加速後波長只有0.0387埃，於是科學家們就想到是否可以用電子束來代替光波？這是電子顯微鏡即將誕生的一個先兆。
用電子束來製造顯微鏡，關鍵是找到能使電子束聚焦的透鏡，光學透鏡是無法會聚電子束的。
1926年，德國科學家蒲許提出了關於電子在磁場中運動的理論。他指出：“具有軸對稱性的磁場對電子束來說起著透鏡的作用。”這樣，蒲許就從理論上解決了電子顯微鏡的透鏡問題，因為電子束來說，磁場顯示出透鏡的作用，所以稱為“磁透鏡”。
德國柏林工科大學的年輕研究員盧斯卡，1932年製作了第一臺電子顯微鏡——它是一臺經過改進的陰極射線示波器，成功地得到了銅網的放大像——第一次由電子束形成的影象，加速電壓為7萬，最初放大率僅為12倍。儘管放大率微不足道，但它卻證實了使用電子束和電子透鏡可形成與光學像相同的電子像。
經過不斷地改進，1933年盧斯卡製成了二級放大的電子顯微鏡，獲得了金屬箔和纖維的1萬倍的放大像。
電子顯微鏡的出現使人類的洞察能力提高了好幾百倍，不僅看到了病毒，而且看見了一些大分子，即使經過特殊製備的某些型別材料樣品裡的原子，也能夠被看到。
但是，受電子顯微鏡本身的設計原理和現代加工技術手段的限制，目前它的分辨本領已經接近極限。要進一步研究比原子尺度更小的微觀世界必須要有概念和原理上的根本突破。
1978年，一種新的物理探測系統——“掃描隧道顯微鏡已被德國學者賓尼格和瑞士學者羅雷爾系統地論證了，並於1982年製造成功。這種新型的顯微鏡，放大倍數可達3億倍，最小可分辨的兩點距離為原子直徑的1/10，也就是說它的解析度高達0.1埃。
掃描隧道顯微鏡採用了全新的工作原理，它利用一種電子隧道現象，將樣品本身作為一具電極，另一個電極是一根非常尖銳的探針，把探針移近樣品，並在兩者之間加上電壓，當探針和樣品表面相距只有數十埃時，由於隧道效應在探針與樣品表面之間就會產生隧穿電流，並保持不變，若表面有微小起伏，那怕只有原子大小的起伏，也將使穿電流發生成千上萬倍的變化，這種攜帶原子結構的資訊，輸入電子計算機，經過處理即可在熒光屏上顯示出一幅物體的三維圖象。
鑑於盧斯卡發明電子顯微鏡的，賓尼格、羅雷爾設計製造掃描隧道顯微鏡的業績，瑞典皇家科學院決定，將1986年諾貝爾物理獎授予他們三人。