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1 # 南疆Heizi
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2 # 楊微木
題主問的應該是華為能不能研發出類似ASML生產的那種7nm甚至5nm的頂級光刻機吧?答案是,能研發出來,但製造不出來。因為高階光刻機的很多零配件,是被西方禁運的。
1.光刻機的原理我們懂
簡而言之,光刻機就是利用鐳射把電路刻到晶圓上。這個原理,和我們上學時學的內燃機原理一樣,是公開的。我們中學就明白內燃機原理,但是我們各大汽車公司,還是造不出效能可匹配歐美日的發動機。在光刻機領域,道理一樣。
所謂光刻,就是透過鐳射把晶片製作所需要的線路與功能區做出來。利用光刻機發出的光透過具有圖形的光罩對塗有光刻膠的薄片曝光,光刻膠見光後會發生性質變化,從而使光罩上得圖形影印到薄片上,從而使薄片具有電子線路圖的作用。這就是光刻的作用,類似照相機照相。照相機拍攝的照片是印在底片上,而光刻刻的不是照片,而是電路圖和其他電子元件。(原理見下圖)
從原理上講,華為工程師一定比我們理解得更深刻,能設計出更精美的方案,但問題在於--製造,我們沒有匹配的零配件。
2.瓦森納協議的限制
1996年7月,在美國主導下,以西方國家為主的33個國家在奧地利維也納簽署了《瓦森納協定》(簡稱“瓦協” Wassenaar Arrangement),決定從1996年11月1日起實施新的控制清單和資訊交換規則。“瓦協”包含兩份控制清單:一份是軍民兩用商品和技術清單,涵蓋了先進材料、材料處理、電子器件、計算機、電信與資訊保安、感測與鐳射、導航與航空電子儀器、船舶與海事裝置、推進系統等9大類;另一份是軍品清單,涵蓋了各類武器彈藥、裝置及作戰平臺等共22類。
中國在“瓦森納協議”被禁運國家之列。而高階光刻機的主要零配件,都在禁運的清單上。中國大部分也能製作出來,但是精度達不到,所以製造不出類似ASML生產的那樣高階光刻機。
3.中國製作2025,我們一直在努力
為了在高階製造、精密機床等方面迎頭趕上,不再受制於人。國家提出了“中國製作2025”,也就是“工業4.0”,而高階光刻機,就是其中的重點之一。
2019年,根據媒體報道,武漢光電國家研究中心的甘棕松團隊,已成功研發出9nm工藝製程的光刻機。與傳統光刻機不同的是,此次的中中國產光刻機利用二束鐳射突破了光束衍射極限的限制,刻出了最小9nm線寬的線段,這也是我們獨有的技術,我們也用著自主產權。
可見,離ASML的7奈米、5奈米越來越近了。
我們有理由相信,在不久的將來,不一定是華為,但中國一定能夠研發、設計、製作出能夠媲美ASML的光刻機。就像兩彈一星、殲20和航母一樣。
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獨立自主、自力更生,中國高鐵、航天已用事實證明,中國有能力做自己的光刻機,甚至做得更好。目前我們只有14nm,囯外有5nm技術了。相信科學家和工程師、技術工人們一定能攻克這項高科技!