據相關資料的介紹，製造高階光刻機的難度，主要是應用材料的攻艱，其次是微奈米精密度的技術。具體要求，一般常人是無法去理解的。其採用的是微奈米技術要求，勝過製造原子彈，勝過製造航天器，製造出一條航母的技術與之相比，更是無法比擬。

目前中國光刻機的製造技術，連起步都還不算，仍然停留在雕刻機的製造層面。高階光刻機，只能是任重而道遠的一個美好理想。

製造高階光刻機難度大，由於國外的技術封鎖，高階光刻機對於我們來說，就是創造，全新研製。它涉及很多尖端科技，高純度、高效能的材料；極紫外光源；高精度光學透鏡；奈米級運動控制平臺……

每一項都需自主攻克。最好換道超車，另闢模式，搞碳基半導體，或其它途徑。

不管是光刻機還是航母都是燒錢的，一個是軍需一個是民用。航母再難搞，只要有錢有人國家投入沒有華人搞不出來的，六十年代白手起家，衛星上天，原子彈爆炸，和現在相比天地之差，在國防領域中國已經很先進了。

如果光刻機是國防用途，像航母一樣，迫在眉睫，不要幾年中國一定能攻克。