御史、御史大夫府、丞相司直和司隸校尉、中央設御史府、臺院、殿院、察院、都察院，罷諫院等。

春秋戰國：御史兼有監察的使命，但這個時期還沒有專職的監察機構。

2、秦：建立御史大夫府為中央監察機構，在地方設定監郡御史。

3、漢：在中央設御史府的同時，增設丞相司直和司隸校尉為中央監察官，在地方設立十三部剌史，監察地方二千石長吏，並制定了第一個專門性的地方監察法規，給事中與諫議大夫等言官也已問世。

4、魏晉南北朝：中央御史臺脫離少府，直接受命於皇帝，廢司隸校尉，監察機構初步統一，監察權擴大，自王太子以下無所不糾。諫官系統開始規範化、系統化。

5、隋：設中央設御史府，分別負責內外監察。

6、唐：在御史臺下設臺院、殿院、察院，分工明確，互相配合，地方則分十道(後增至十五道)監察區，形成比較嚴密的監察網。諫官組織分隸中書、門下兩省，形成臺諫並立局面。

7、宋：設立諫院，臺諫職權開始混雜，趨向合一，地方監察設監司和通判，直隸皇帝。

8、元：取消諫院，臺諫合一。地方設行御史臺，統轄二十二道監察區，每道設肅政廉訪使(提刑按察司)，從而使中央與地方在監察機構上渾然一體。元朝還制定了一整套的監察法規。

9、明：改御史臺為都察院，罷諫院，設六科給事中，成為六部的獨立監察機構，科道並立。地方設十三道巡按御史和各省提刑按察司，同時設督撫，形成地方三重臨察網路。

10、清：將六科給事中歸屬都察院，科道合一，地方監察沿用明制。清朝還制定了中國古代最完整的一部監察法典《欽定合規》。